MEMS器件的系统动力学建模与分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| ·MEMS的定义及特点 | 第9-11页 |
| ·MEMS 器件研究概况 | 第11-14页 |
| ·尺寸效应 | 第11页 |
| ·微加速度计研究概况 | 第11-13页 |
| ·微机械陀螺仪研究概况 | 第13-14页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 微电子加速度计的有限元建模与动力学分析 | 第15-31页 |
| ·微加速度计工作原理 | 第15-16页 |
| ·叉指式微加速度计的工作原理 | 第16-19页 |
| ·检测系统 | 第17-18页 |
| ·静电反馈系统 | 第18-19页 |
| ·悬臂梁式微加速度计有限元建模与仿真 | 第19-30页 |
| ·实体模型的建立 | 第19-22页 |
| ·模态分析 | 第22-26页 |
| ·瞬态动力学分析 | 第26-28页 |
| ·静电－结构耦合分析 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 微机电系统的粘附效应 | 第31-43页 |
| ·粘附效应概述 | 第31-32页 |
| ·微机电系统产生粘附的物理机理 | 第32-38页 |
| ·静电力作用下产生粘附的物理机理 | 第32-33页 |
| ·表面张力作用下产生粘附的物理机理 | 第33-35页 |
| ·残余应力对构件粘附的影响 | 第35-36页 |
| ·范德华力对构件粘附的影响 | 第36-37页 |
| ·卡什米尔力对构件粘附的影响 | 第37-38页 |
| ·表面张力作用下微硅悬臂梁的结构参数设计 | 第38-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 振动轮式微机械陀螺仪动力学建模与分析 | 第43-59页 |
| ·振动轮式微机械陀螺仪动力学模型的建立 | 第43-50页 |
| ·坐标系的建立及基本假设 | 第43-44页 |
| ·已知条件 | 第44页 |
| ·待求量 | 第44-45页 |
| ·力学模型和数学微分方程的建立 | 第45-46页 |
| ·方程组中各物理量的具体计算 | 第46-49页 |
| ·方程的简化 | 第49-50页 |
| ·微陀螺结构设计与动力学仿真分析 | 第50-56页 |
| ·总体分析 | 第50-51页 |
| ·挠性梁 | 第51-52页 |
| ·梳齿状电极激励 | 第52-54页 |
| ·转动惯量 | 第54页 |
| ·系统阻尼 | 第54页 |
| ·检测与反馈 | 第54页 |
| ·振动轮式微陀螺刚体运动微分方程的建立 | 第54-55页 |
| ·仿真分析 | 第55-56页 |
| ·有限元模型的建立 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第64-65页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第65页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第65页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
