溶胶—凝胶法制备掺铝氧化锌薄膜及其光电性能研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 前言	第9-20页
·研究背景	第9-10页
·氧化锌的基本结构	第10-11页
·氧化锌的基本性质	第11-12页
·氧化锌中的缺陷	第12-14页
·氧化锌的掺杂	第14-16页
·氧化锌的应用	第16-18页
·研究现状	第18-19页
·论文主要内容	第19-20页
2 掺铝氧化锌薄膜溶胶－凝胶法制备机理及性能表征	第20-35页
·氧化锌薄膜制备方法	第20-24页
·溶胶-凝胶法制备薄膜生长机理	第24页
·溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌薄膜	第24-27页
·实验化学反应机理过程	第27-29页
·掺铝氧化锌薄膜光电性能影响因素	第29-30页
·掺铝氧化锌薄膜性能表征方法	第30-35页
3 掺铝氧化锌薄膜性能分析	第35-48页
·掺铝氧化锌粉体DTA 热分析	第35-36页
·掺铝氧化锌薄膜结构形貌分析	第36-39页
·掺铝氧化锌薄膜光学性能分析	第39-42页
·掺铝氧化锌薄膜膜厚的测量	第42-43页
·掺铝氧化锌薄膜电学性能	第43-48页
4 工艺参数对掺铝氧化锌薄膜性能影响	第48-62页
·预热处理温度对掺铝氧化锌薄膜 c 轴取向影响	第48-50页
·溶胶浓度对掺铝氧化锌薄膜光学性能影响	第50-51页
·掺杂浓度对掺铝氧化锌薄膜光电性能影响	第51-55页
·退火对掺铝氧化锌薄膜性能影响	第55-60页
·N_2 中退火对掺铝氧化锌薄膜导电性影响	第60-62页
5 结论与展望	第62-65页
·主要结论	第62-64页
·展望	第64-65页
致谢	第65-66页
参考文献	第66-70页