摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
目录 | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第7-11页 |
·薄膜的发展 | 第7-8页 |
·研究背景及内容 | 第8-9页 |
·课题研究的目的和意义 | 第9-10页 |
·论文研究的主要工作 | 第10-11页 |
第二章 光学薄膜的理论基础 | 第11-23页 |
·电磁场理论 | 第11-12页 |
·光学薄膜特性的理论计算 | 第12-21页 |
·光学薄膜的特征矩阵 | 第21-23页 |
第三章 多波段光学薄膜的设计 | 第23-39页 |
·薄膜材料的选择依据 | 第23-24页 |
·薄膜材料的选取 | 第24-29页 |
·膜系设计 | 第29-33页 |
·优化设计原理及方法 | 第33-36页 |
·膜系确定 | 第36-39页 |
第四章 薄膜制备 | 第39-65页 |
·镀膜设备 | 第39-52页 |
·镀膜均匀性的讨论 | 第52-56页 |
·离子辅助沉积技术 | 第56-59页 |
·工艺因素 | 第59-60页 |
·控制参数 | 第60-62页 |
·制备工艺过程 | 第62-64页 |
·注意事项 | 第64-65页 |
第五章 测试结果与分析 | 第65-67页 |
结论 | 第67-68页 |
致谢 | 第68-69页 |
参考文献 | 第69-70页 |