超精密气浮定位工作台的动力学研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·课题的来源、背景和意义 | 第9-11页 |
| ·超精密气浮定位工作台的研究进展情况 | 第11-18页 |
| ·课题研究的主要内容、研究重点与难点 | 第18-20页 |
| ·研究的主要方法及程序 | 第20-21页 |
| ·课题研究的主要创新点 | 第21页 |
| ·论文的主要章节及内容 | 第21-22页 |
| 2 气浮支承技术和电磁直接驱动的基本原理 | 第22-33页 |
| ·引言 | 第22-23页 |
| ·气浮支承技术的工作原理 | 第23-30页 |
| ·电磁无接触直接驱动的工作原理 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 气浮支承的模型及有限元分析法 | 第33-53页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·气浮支承静压润滑系统概述 | 第34-37页 |
| ·气浮支承润滑问题的变分表示法 | 第37-38页 |
| ·用有限元法解气浮支承的静压润滑问题 | 第38-51页 |
| ·气浮支承的静压润滑稳定性 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 4 超精密气浮支承的数值计算与仿真 | 第53-70页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·影响因素分析 | 第53-54页 |
| ·气浮支承的特性分析及数值计算 | 第54-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 5 超精密气浮定位工作台的动力学特性分析与仿真 | 第70-81页 |
| ·引言 | 第70-71页 |
| ·气浮定位工作台的数学模型 | 第71-72页 |
| ·求解F_(bi)和F_c | 第72-75页 |
| ·动态特性的仿真分析 | 第75-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 6 超精密气浮定位工作台定位运动的分析和仿真 | 第81-101页 |
| ·引言 | 第81页 |
| ·气浮定位工作台直线运动的数学模型 | 第81-83页 |
| ·混合趋近律滑模变结构控制模型的建立与仿真 | 第83-94页 |
| ·定位工作台输出位移的仿真试验与精度分析 | 第94-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 7 超精密气浮定位工作台的动态特性的实验研究 | 第101-118页 |
| ·引言 | 第101页 |
| ·实验的设计 | 第101-105页 |
| ·实验结果与分析 | 第105-117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 8 全文总结与研究展望 | 第118-121页 |
| ·全文总结 | 第118-120页 |
| ·研究展望 | 第120-121页 |
| 致谢 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-131页 |
| 附录1 作者在攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第131页 |
