高精度光学自动对准系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题的来源 | 第9页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·课题的目的和意义 | 第10页 |
| ·国内外发展现状及趋势 | 第10-14页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 光学成像系统设计的理论研究 | 第15-28页 |
| ·光线偏振状态分析 | 第15-18页 |
| ·偏振光的产生 | 第15-18页 |
| ·偏振光的Jones矢量 | 第18页 |
| ·波片对偏振光线的变换分析 | 第18-23页 |
| ·波片对光线偏振态转换的Jones矢量表示 | 第19-20页 |
| ·λ/4 波片的偏振作用的推导 | 第20-21页 |
| ·已知角度的线偏振光通过λ/4 波片的偏振态分析 | 第21-23页 |
| ·显微成像理论的研究 | 第23-27页 |
| ·显微成像 | 第23-25页 |
| ·成像系统中的反射应用 | 第25-27页 |
| ·显微成像系统中的分光棱镜 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 光学成像系统的设计与实现 | 第28-55页 |
| ·光学设计原理 | 第28页 |
| ·应用环境及光路参数要求 | 第28-30页 |
| ·照明方案的设计 | 第30-37页 |
| ·光源的选择 | 第30-34页 |
| ·微小器件的照明方式的选择 | 第34-36页 |
| ·本系统的设计应用 | 第36-37页 |
| ·成像系统的设计 | 第37-43页 |
| ·问题的提出 | 第37-40页 |
| ·解决方案 | 第40-43页 |
| ·微小目标的图像获取 | 第43-49页 |
| ·图像采集方式的选择 | 第43-44页 |
| ·图像传感器与显微物镜 | 第44-49页 |
| ·光学成像系统的实现 | 第49-54页 |
| ·元器件的选择 | 第49-51页 |
| ·机械结构件的设计与实现 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 成像系统的精度标定 | 第55-69页 |
| ·自动聚焦函数的选择 | 第55-58页 |
| ·梯度函数 | 第56页 |
| ·熵函数 | 第56-58页 |
| ·系统分辨率的标定方法 | 第58-60页 |
| ·标定过程 | 第60-64页 |
| ·标定结果验证 | 第64-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第5章 光学自动对准系统的设计与实现 | 第69-76页 |
| ·图像处理技术 | 第69-70页 |
| ·对准系统的运动控制 | 第70-72页 |
| ·光学自动对准系统的实现与应用 | 第72-75页 |
| ·工作组件的装配 | 第72-73页 |
| ·自动对准系统的实现 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第6章 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·全文总结 | 第76-77页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 附录I 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第82页 |
