硅微微压传感器设计研究
| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-15页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·研究意义 | 第12-13页 |
| ·论文结构 | 第13-15页 |
| 第二章 典型硅微压力传感器工作原理与性能分析 | 第15-31页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·压阻式硅微压力传感器 | 第15-20页 |
| ·硅的压阻效应 | 第15-18页 |
| ·工作原理 | 第18-19页 |
| ·性能分析 | 第19-20页 |
| ·微压化 | 第20页 |
| ·电容式硅微压力传感器 | 第20-24页 |
| ·工作原理 | 第20-22页 |
| ·性能分析 | 第22-23页 |
| ·微压化 | 第23-24页 |
| ·谐振式硅微压力传感器 | 第24-29页 |
| ·工作原理 | 第24-28页 |
| ·性能分析 | 第28页 |
| ·微压化 | 第28-29页 |
| ·小结 | 第29-31页 |
| 第三章 感压薄膜结构分析与模拟 | 第31-49页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·平膜结构 | 第31-39页 |
| ·小挠度模型 | 第31-37页 |
| ·大挠度模型 | 第37-39页 |
| ·岛膜结构 | 第39-43页 |
| ·波纹膜 | 第43-47页 |
| ·小结 | 第47-49页 |
| 第四章 结构与工艺设计 | 第49-61页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·系统结构设计 | 第49-50页 |
| ·结构方案一 | 第49-50页 |
| ·结构方案二 | 第50页 |
| ·感压薄膜制备 | 第50-58页 |
| ·浓硼扩散原理 | 第50-52页 |
| ·浓硼重掺杂自停止腐蚀 | 第52-53页 |
| ·低压化学沉积技术 | 第53页 |
| ·阳极键合技术 | 第53-55页 |
| ·工艺流程设计 | 第55-58页 |
| ·高真空压力参考腔的获得与电极引线 | 第58-59页 |
| ·小结 | 第59-61页 |
| 第五章 感压薄膜动力学分析与模拟 | 第61-67页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·感压薄膜集总参数模型 | 第61-62页 |
| ·感压薄膜动力学模拟 | 第62-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·论文总结 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 硕士在读期间发表论文 | 第75页 |
