| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·国内外研究发展现状 | 第9-10页 |
| ·研究的目的与意义 | 第10-11页 |
| ·本文的主要内容 | 第11-13页 |
| 第二章 电容式微加速度计理论基础 | 第13-21页 |
| ·加速度计基本工作原理 | 第13页 |
| ·加速度计的数学模型 | 第13-14页 |
| ·开环电容式微加速度计的数学模型 | 第14-17页 |
| ·开环电容式微加速度计的分辨率 | 第14-16页 |
| ·静电力作用下开环微加速度计的参数 | 第16-17页 |
| ·闭环电容式微加速度计的数学模型 | 第17-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 ∑-△微加速度计的模型设计 | 第21-30页 |
| ·∑-△调制技术 | 第21-24页 |
| ·∑-△调制技术原理 | 第21-22页 |
| ·二阶∑-△调制器 | 第22-24页 |
| ·∑-△微加速度计模型 | 第24-29页 |
| ·模型概述 | 第24-25页 |
| ·机械结构传递函数的分析 | 第25-26页 |
| ·系统稳定性的分析 | 第26-29页 |
| ·本章小节 | 第29-30页 |
| 第四章 ∑-△微加速度计的控制结构仿真 | 第30-46页 |
| ·系统 SIMULINK仿真模型的建立 | 第30-35页 |
| ·系统 SIMULINK仿真模型概述 | 第30-31页 |
| ·机械结构的传递函数 | 第31-33页 |
| ·相位补偿器在反馈环节的系统 SIMULINK仿真模型 | 第33-34页 |
| ·∑-△微加速度计的输出 | 第34-35页 |
| ·数字信号处理模块设计 | 第35-39页 |
| ·完整的过采样∑-△调制解调过程 | 第35-36页 |
| ·本系统的抽取滤波器设计 | 第36-39页 |
| ·系统的 SIMULINK仿真 | 第39-45页 |
| ·正弦最小误差法 | 第40-41页 |
| ·对仿真结果的分析 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 ∑-△微加速度计的电学仿真 | 第46-53页 |
| ·静电力反馈作用下机械结构的等效电学模型 | 第46-47页 |
| ·全系统的PSPICE仿真模型 | 第47-49页 |
| ·仿真结果 | 第49-50页 |
| ·系统的噪声分析 | 第50-52页 |
| ·量化噪声 | 第50-51页 |
| ·放大电路噪声 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 ∑-△微加速度计的电路设计 | 第53-65页 |
| ·PSPICE中四端口MOS管模型的创建 | 第53-55页 |
| ·放大电路模块设计 | 第55-58页 |
| ·全差分共源共栅 OTA | 第55-56页 |
| ·OTA的电压偏置电路 | 第56-57页 |
| ·OTA的共模反馈(CMFB)电路 | 第57-58页 |
| ·放大电路的性能仿真 | 第58页 |
| ·比较器电路设计 | 第58-60页 |
| ·带锁存功能的钟控比较器 | 第58-59页 |
| ·比较器电路的性能仿真 | 第59-60页 |
| ·寄存器电路设计 | 第60-61页 |
| ·边沿触发的D触发器 | 第60页 |
| ·触发器电路的性能仿真 | 第60-61页 |
| ·相位补偿器电路设计 | 第61-63页 |
| ·基于加法电路实现的相位补偿器 | 第61-63页 |
| ·相位补偿器的性能仿真 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第七章 总结与展望 | 第65-68页 |
| ·本文工作及结论 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |