| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·研究背景介绍 | 第8-10页 |
| ·位单元的基本需求分析 | 第10-12页 |
| ·研究目标 | 第12-14页 |
| 2 位单元的设计与优化 | 第14-38页 |
| ·位单元架构分析及制定 | 第14-18页 |
| ·设计规则的制定 | 第18-25页 |
| ·位单元版图设计 | 第25-34页 |
| ·光学临近修正 | 第34-38页 |
| 3 位单元测试结构设计 | 第38-43页 |
| ·测试结构需求分析 | 第38-39页 |
| ·测试结构设计 | 第39-43页 |
| 4 电性测试及数据分析 | 第43-56页 |
| ·失效模式分析 | 第43-50页 |
| ·电性测量原理与方法 | 第50-52页 |
| ·数据整理分析 | 第52-56页 |
| 5 总结 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第62-65页 |