MEMS超声分离腔的二维简正模式激发技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·MEMS 超声分离技术研究现状及发展 | 第10-13页 |
| ·本课题组的前期工作 | 第13页 |
| ·本文的内容 | 第13-14页 |
| 第二章 超声分离原理及MEMS 超声分离器 | 第14-26页 |
| ·超声分离原理 | 第14-23页 |
| ·声辐射力产生机理 | 第18-21页 |
| ·流体中悬浮颗粒的受力情况 | 第21-22页 |
| ·超声分离原理 | 第22-23页 |
| ·MEMS 超声分离器 | 第23-26页 |
| ·多层谐振结构的分离器 | 第23-24页 |
| ·基于平面驻波模式的MEMS 分离器制约因素 | 第24-26页 |
| 第三章 基于二维简正模式的MEMS 超声分离器 | 第26-35页 |
| ·分离腔超声场的二维驻波模式 | 第26-31页 |
| ·分离器二维驻波模式简介 | 第26-27页 |
| ·分离腔内产生二维驻波超声场的几种方法 | 第27-31页 |
| ·二维简正模式的MEMS 超声分离器 | 第31-35页 |
| ·分离器模型及工作原理 | 第31-32页 |
| ·分离器截面及参数 | 第32-35页 |
| 第四章 分离腔二维简正模式激发技术 | 第35-54页 |
| ·一维超声驻波场激发方法 | 第35-36页 |
| ·分离腔二维简正模式激发所面临的问题 | 第36-39页 |
| ·分离腔模态共存问题 | 第36-38页 |
| ·分离器固定工作模式造成的声辐射力不足问题 | 第38-39页 |
| ·分离腔二维简正模式激发技术 | 第39-54页 |
| ·双声源波腹处反相位激发技术 | 第39-49页 |
| ·自由薄板振动下流体声场特性 | 第39-42页 |
| ·分离腔简正模式激发模型 | 第42-45页 |
| ·分离腔二维简正模式激发研究 | 第45-49页 |
| ·扫频激发技术 | 第49-54页 |
| 第五章 超声分离实验研究 | 第54-69页 |
| ·超声分离实验平台 | 第54-59页 |
| ·分离平台及管路系统 | 第54-56页 |
| ·实验记录装置 | 第56-57页 |
| ·激发技术的实现 | 第57-59页 |
| ·分离实验中悬浮液制备 | 第59页 |
| ·实验 | 第59-66页 |
| ·单声源与双声源激发实验 | 第59-65页 |
| ·二维简正模态的对比实验 | 第65-66页 |
| ·分离腔（1，1）阶简正模式激发实验 | 第66页 |
| ·分离实验影响因素分析 | 第66-69页 |
| ·温度变化因素 | 第66-67页 |
| ·悬浮液浓度影响 | 第67-68页 |
| ·分离器系统阻抗特性 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 在学期间的研究成果 | 第74-75页 |
