| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-24页 |
| ·铁电材料的基本概念和研究进展 | 第8-14页 |
| ·铁电材料的基本概念和物理性质 | 第8-11页 |
| ·铁电材料的研究历史 | 第11-14页 |
| ·铁电薄膜材料及应用 | 第14页 |
| ·铁电薄膜制备方法 | 第14-18页 |
| ·铁电薄膜的性能以及表征 | 第18-19页 |
| ·铁电薄膜的物化结构性能表征 | 第18-19页 |
| ·铁电薄膜的电学性能分析与表征 | 第19页 |
| ·本论文选题目的以及意义 | 第19-21页 |
| 参考文献 | 第21-24页 |
| 第二章 钛酸锶钡铁电薄膜材料及其掺杂改性研究 | 第24-40页 |
| ·钛酸锶钡铁电薄膜的基本结构 | 第24-25页 |
| ·钛酸锶钡铁电薄膜的性能及应用 | 第25-28页 |
| ·钛酸锶钡铁电薄膜的掺杂改性研究 | 第28-37页 |
| ·A 位掺杂(施主掺杂) | 第29-30页 |
| ·B 位掺杂(受主掺杂) | 第30-32页 |
| ·晶界掺杂 | 第32-33页 |
| ·掺杂对BST 薄膜的影响 | 第33-37页 |
| 参考文献 | 第37-40页 |
| 第三章 溶胶凝胶工艺制备BST 薄膜 | 第40-48页 |
| ·溶胶凝胶工艺基本原理以及研究进展 | 第40-41页 |
| ·溶胶凝胶工艺的发展历史 | 第40-41页 |
| ·溶胶凝胶工艺的基本原理 | 第41页 |
| ·溶胶凝胶技术制备BST 薄膜的工艺过程 | 第41-45页 |
| ·Bi 掺杂BST 薄膜的制备 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 第四章 BST 系列铁电薄膜的性能分析与表征 | 第48-79页 |
| ·BST 系列薄膜的结晶性能分析 | 第48-53页 |
| ·X 射线衍射(XRD)分析基本原理 | 第48页 |
| ·XRD 分析样品 | 第48-53页 |
| ·BST 系列铁电薄膜的表明形貌分析 | 第53-63页 |
| ·原子力显微镜(AFM)基本原理 | 第53-54页 |
| ·BST 薄膜的AFM 分析 | 第54-60页 |
| ·掺Bi 的BST 薄膜的AFM 分析 | 第60-63页 |
| ·BST 以及掺铋的BST 薄膜的SEM 断面分析 | 第63-64页 |
| ·BST 系列薄膜的化学组态与结合能分析 | 第64-74页 |
| ·XPS 分析基本原理 | 第64-65页 |
| ·BST 系列薄膜的XPS 分析 | 第65-74页 |
| ·BST 系列薄膜的电学性能分析 | 第74-77页 |
| 参考文献 | 第77-79页 |
| 第五章 主要结论以及进一步工作的建议 | 第79-82页 |
| ·本论文主要研究成果 | 第79-80页 |
| ·对进一步开展BST 薄膜研究的建议 | 第80-82页 |
| 附录 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 申明 | 第85页 |