| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 1 绪论 | 第7-18页 |
| 1．1 光学干涉测量的历史回顾及现状 | 第7-8页 |
| 1．2 光学零件面形的测量方法 | 第8-16页 |
| 1．2．1 玻璃样板法 | 第8-9页 |
| 1．2．2 泰曼干涉仪(棱镜透镜干涉仪)测量法 | 第9页 |
| 1．2．3 泰曼型激光球波面干涉仪 | 第9-10页 |
| 1．2．4 斐索(Fizean)干涉测量 | 第10-12页 |
| 1．2．5 错位干涉测量 | 第12页 |
| 1．2．6 移相干涉测量 | 第12-16页 |
| 1．3 柱面波象差测量 | 第16页 |
| 1．4 论文工作的内容 | 第16-18页 |
| 2．球面波象差计量标准的研究 | 第18-31页 |
| 2．1 球面检验的常用方法 | 第18-20页 |
| 2．1．1 样板法 | 第18页 |
| 2．1．2 干涉法 | 第18-19页 |
| 2．1．3 三面互检法 | 第19-20页 |
| 2．2 球面绝对检验理论分析 | 第20-24页 |
| 2．2．1 Zernike多项式表示波面(面形)的奇偶对称性 | 第20-21页 |
| 2．2．2 三次检验原理 | 第21-23页 |
| 2．2．3 简化的二次检验法 | 第23-24页 |
| 2．3 实现球面波象差三次干涉法绝对检验关键技术 | 第24-28页 |
| 2．3．1 三个干涉图的空间一致性要求 | 第24-25页 |
| 2．3．2 干涉图空间位置的自动识别 | 第25-27页 |
| 2．3．3 空间一致性调整与归一化参数的求取 | 第27-28页 |
| 2．4 球面波象差计量标准装置 | 第28-31页 |
| 2．4．1 斐索干涉仪 | 第28-29页 |
| 2．4．2 专用夹持座 | 第29-31页 |
| 3．球面波象差的测量误差分析 | 第31-39页 |
| 3．1 球面波象差计量标准装置的测量不确定度分析 | 第31-33页 |
| 3．1．1 不确定度A类的评定 | 第31-32页 |
| 3．1．2 不确定度的B类评定 | 第32-33页 |
| 3．1．3 合成不确定度 | 第33页 |
| 3．1．4 扩展不确定度 | 第33页 |
| 3．2 实验结果 | 第33-39页 |
| 3．2．1 齐明透镜检验 | 第33-35页 |
| 3．2．2 空间一致性测试 | 第35页 |
| 3．2．3 干涉图对称中心测试 | 第35-36页 |
| 3．2．4 对被测球面的测试 | 第36页 |
| 3．2．5 对比测试 | 第36-37页 |
| 3．2．6 结论 | 第37-39页 |
| 4．柱面波象差的绝对检验 | 第39-54页 |
| 4．1 柱面波象差测试方法分析 | 第39-41页 |
| 4．1．1 三柱面互检技术 | 第39页 |
| 4．1．2 预先标定法 | 第39页 |
| 4．1．3 绝对检验方法 | 第39-41页 |
| 4．2 柱面绝对检验原理 | 第41-45页 |
| 4．2．1 波面(面形)多项式表达下的奇偶对称性 | 第41-42页 |
| 4．2．2 柱面绝对检验原理 | 第42-44页 |
| 4．2．3 柱面干涉图的数字化旋转 | 第44-45页 |
| 4．3 多干涉图组合测试中的干涉图空间位置一致性 | 第45-48页 |
| 4．3．1 柱面绝对检验中四幅干涉图的空间位置一致性要求 | 第45-46页 |
| 4．3．2 干涉图空间位置的自动识别 | 第46页 |
| 4．3．3 柱面干涉图的特征参数确定 | 第46-47页 |
| 4．3．4 空间位置一致性调整与归一化参数的求取 | 第47-48页 |
| 4．4 柱面波象差计量标准装置 | 第48-53页 |
| 4．4．1 斐索干涉系统 | 第48-49页 |
| 4．4．2 柱面透镜 | 第49-50页 |
| 4．4．3 空心直角棱镜 | 第50-52页 |
| 4．4．4 专用调整、夹持机构 | 第52-53页 |
| 4．5 柱面波象差计量标准的软件系统 | 第53-54页 |
| 5．柱面波象差误差分析 | 第54-59页 |
| 5．1 不确定度分析 | 第54-56页 |
| 5．1．1 约定真值 | 第54页 |
| 5．1．2 不确定度 | 第54-56页 |
| 5．2 实验结果 | 第56-59页 |
| 5．2．1 空心直角棱镜反射面面形测试 | 第56页 |
| 5．2．2 空心直角棱镜角度误差的修正参数 | 第56-57页 |
| 5．2．3 柱面绝对检验测试(对被测柱面的测试) | 第57-59页 |
| 结束语 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |