| 目录 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-24页 |
| ·超磁致伸缩材料及其薄膜 | 第8-17页 |
| ·超磁致伸缩材料的研究历史及发展方向 | 第8-10页 |
| ·磁致伸缩理论 | 第10-11页 |
| ·超磁致伸缩薄膜的研究进展 | 第11-15页 |
| ·我国超磁致伸缩材料的研制和应用 | 第15-17页 |
| ·压电陶瓷的有关理论 | 第17-22页 |
| ·压电效应产生的原因 | 第17-18页 |
| ·压电陶瓷的自发极化和人工极化 | 第18-19页 |
| ·压电振子的振动模式 | 第19-20页 |
| ·压电材料的去极化 | 第20页 |
| ·压电陶瓷的老化 | 第20-22页 |
| ·超磁致伸缩材料和压电陶瓷的性能对比 | 第22-23页 |
| ·选题依据及研究内容 | 第23-24页 |
| ·选题依据 | 第23页 |
| ·研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 实验部分 | 第24-39页 |
| ·样品制备 | 第24-30页 |
| ·磁控溅射原理 | 第24-25页 |
| ·磁控溅射设备 | 第25-27页 |
| ·溅射靶材制备 | 第27页 |
| ·基片清洗 | 第27-28页 |
| ·溅射镀膜 | 第28-29页 |
| ·薄膜的热处理 | 第29-30页 |
| ·样品性能的检测与表征 | 第30-39页 |
| ·膜厚的测量及镀膜速率的测定 | 第30-31页 |
| ·薄膜结构与成分分析 | 第31页 |
| ·薄膜表面及断面形貌观测 | 第31页 |
| ·磁性能测试 | 第31页 |
| ·薄膜磁致伸缩系数的测量 | 第31-38页 |
| ·测量压电基片输出电压 | 第38-39页 |
| 第三章 实验结果与分析 | 第39-65页 |
| ·薄膜成分与结构分析 | 第39-45页 |
| ·薄膜的成分分析 | 第39页 |
| ·薄膜的结构分析和表面形貌观察 | 第39-45页 |
| ·薄膜磁性能 | 第45-54页 |
| ·单一Fe薄膜的磁性能 | 第45-47页 |
| ·单层TbDyFe薄膜的磁性能 | 第47-49页 |
| ·TbDyFe／Fe复合膜的磁性能 | 第49-54页 |
| ·TBDYFE／FE多层膜的超磁致伸缩性能 | 第54-60页 |
| ·TbDyFe薄膜的ΔE效应对磁致伸缩计算结果的影响 | 第54-55页 |
| ·复合层厚度对复合膜超磁致伸缩性能的影响 | 第55-59页 |
| ·热处理对薄膜磁致伸缩性能的影响 | 第59-60页 |
| ·超磁致伸缩薄膜／PMN-PT的磁-电功能转换性能 | 第60-65页 |
| 第四章 结论 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |