| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-7页 |
| 目 录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪 论 | 第10-32页 |
| 1．1 微传感器的研究概况 | 第11-16页 |
| 1．1．1 MEMS的发展与现状 | 第11-14页 |
| 1．1．2 微传感器的研究进展与发展趋势 | 第14-16页 |
| 1．2 LB膜的研究概况 | 第16-23页 |
| 1．2．1 LB膜简介 | 第17-18页 |
| 1．2．2 LB膜的发展历史和研究动态 | 第18-20页 |
| 1．2．3 LB膜在微结构传感器方面的应用 | 第20-23页 |
| 1．3 NO_2气敏传感器的研究概况 | 第23-29页 |
| 1．3．1 气敏传感器的分类 | 第23页 |
| 1．3．2 气敏传感器的基本结构 | 第23-25页 |
| 1．3．3 NO_2气敏传感器的研究动态 | 第25-29页 |
| 1．4 论文的选题及主要工作的结构体系 | 第29-32页 |
| 第二章 基本原理与实验方法 | 第32-58页 |
| 2．1 LB膜技术简介 | 第32-39页 |
| 2．1．1 LB膜成膜原理 | 第32-36页 |
| 2．1．2 LB膜的结构类型及淀积方法 | 第36-38页 |
| 2．1．3 LB膜技术的特点 | 第38-39页 |
| 2．1．4 LB拉膜系统 | 第39页 |
| 2．2 气敏传感器的主要特性参数 | 第39-41页 |
| 2．3 金属-氧化物-半导体场效应管的基本理论 | 第41-47页 |
| 2．3．1 场效应管的类型 | 第41-42页 |
| 2．3．2 MOSFET基本结构及工作原理 | 第42-43页 |
| 2．3．3 MOSFET的静态伏安特性 | 第43-44页 |
| 2．3．4 描述MOSFET性能的主要特性参数 | 第44-47页 |
| 2．4 主要性能的分析测试方法 | 第47-57页 |
| 2．4．1 膜压-面积曲线的测定 | 第47页 |
| 2．4．2 紫外-可见分光光度法（UV-Vis） | 第47-49页 |
| 2．4．3 X-射线光电子能谱（XPS） | 第49-52页 |
| 2．4．4 小角X射线散射（SAXS） | 第52-53页 |
| 2．4．5 原子力显微镜（AFM） | 第53-55页 |
| 2．4．6 电化学循环伏安分析法（CV） | 第55-56页 |
| 2．4．7 气敏特性测试方法 | 第56-57页 |
| 2．4．8 其它分析测试方法及仪器 | 第57页 |
| 2．5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第三章 LB膜NO_2气体传感器的器件结构设计与制作 | 第58-75页 |
| 3．1 引言 | 第58页 |
| 3．2 平面微电极式器件结构 | 第58-61页 |
| 3．2．1 平面微电极式器件的工作原理 | 第58-59页 |
| 3．2．2 器件结构设计及制备工艺 | 第59-61页 |
| 3．3 LB膜化学场效应管的结构设计与制造 | 第61-67页 |
| 3．3．1 LB膜化学场效应管的基本原理 | 第61-62页 |
| 3．3．2 ChemFET的设计原则 | 第62-65页 |
| 3．3．3 ChemFET的结构设计与制造 | 第65-67页 |
| 3．4 电荷流动场效应管的结构设计与制造 | 第67-73页 |
| 3．4．1 电荷流动场效应管的工作原理及在气体传感器中的应用 | 第67-69页 |
| 3．4．2 CFT的设计原理 | 第69-72页 |
| 3．4．3 CFT的结构设计与制造 | 第72-73页 |
| 3．5 本章小结 | 第73-75页 |
| 第四章 NO_2气敏LB膜的制备及分析表征 | 第75-123页 |
| 4．1 LB膜的材料选择及制备工艺 | 第75-78页 |
| 4．1．1 有机气敏材料的选择 | 第75-77页 |
| 4．1．2 基片的表面处理 | 第77页 |
| 4．1．3 制备工艺 | 第77-78页 |
| 4．2 聚苯胺LB膜的制备及表征 | 第78-81页 |
| 4．2．1 制备方法 | 第78-79页 |
| 4．2．2 气-液界面上聚苯胺单分子膜的行为表征 | 第79页 |
| 4．2．3 聚苯胺LB膜的UV-Vis表征及分析 | 第79-81页 |
| 4．3 （i-P_rO）_4CuPc LB膜的制备及表征 | 第81-82页 |
| 4．3．1 制备方法 | 第81页 |
| 4．3．2 气-液界面上（i-P_rO）_4CuPc单分子膜的行为动态表征 | 第81-82页 |
| 4．3．3 （i-P_rO）_4CuPc LB膜的UV-Vis表征及分析 | 第82页 |
| 4．4 RE［Pc~*］_2LB膜的制备及其微观分析和结构表征 | 第82-122页 |
| 4．4．1 RE［Pc~*］_2LB膜的制备方法 | 第82-83页 |
| 4．4．2 气-液界面上RE［Pc~*］_2单分子膜的行为动态研究 | 第83-100页 |
| 4．4．3 RE［Pc~*］_2LB膜的UV-Vis表征及分析 | 第100-107页 |
| 4．4．4 RE［Pc~*］_2LB膜的XPS研究 | 第107-111页 |
| 4．4．5 RE［Pc~*］_2LB膜的TEM及AFM表征分析 | 第111-116页 |
| 4．4．6 RE［Pc~*］_2LB膜的SAXS分析 | 第116-119页 |
| 4．4．7 RE［Pc~*］_2LB膜的电化学循环伏安特性研究 | 第119-122页 |
| 4．5 本章小结 | 第122-123页 |
| 第五章 LB膜NO_2气体传感器的敏感特性研究 | 第123-149页 |
| 5．1 聚苯胺基LB膜的气敏特性研究 | 第123-126页 |
| 5．2 （i-P_rO）_4CuPc LB膜的导电特性及气敏特性研究 | 第126-129页 |
| 5．3 RE［Pc~*］_2LB膜的NO_2气敏特性研究 | 第129-147页 |
| 5．3．1 RE［Pc~*］_2LB膜平面电极式器件的NO_2气敏特性研究 | 第129-135页 |
| 5．3．2 RE［Pc~*］_2LB膜化学场效应管器件的NO_2气敏特性研究 | 第135-142页 |
| 5．3．3 RE［Pc~*］_2LB膜电荷流动场效应管器件的NO_2气敏特性研究 | 第142-147页 |
| 5．4 本章小结 | 第147-149页 |
| 第六章 LB膜的NO_2气敏机理研究 | 第149-174页 |
| 6．1 LB膜与气体的相互作用原理及理论模型 | 第149-161页 |
| 6．1．1 气体敏感原理 | 第149-152页 |
| 6．1．2 敏感膜与气体相互作用的理论模型 | 第152-156页 |
| 6．1．3 NO_2气敏特性中的几种效应 | 第156-161页 |
| 6．2 气体响应的动力学过程及影响因素 | 第161-167页 |
| 6．3 酞菁LB膜NO_2气敏机理的XPS光电子能谱研究 | 第167-172页 |
| 6．4 本章小结 | 第172-174页 |
| 第七章 结论与展望 | 第174-178页 |
| 7．1 结论 | 第174-176页 |
| 7．2 前景展望 | 第176-178页 |
| 参考文献 | 第178-190页 |
| 致 谢 | 第190-191页 |
| 博士期间已发表和待发表的论文 | 第191-193页 |
