多晶硅铸锭炉热场研究及数值模拟
| 目录 | 第1-7页 |
| 图表目录 | 第7-9页 |
| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-29页 |
| ·课题背景 | 第13-18页 |
| ·晶体硅材料发展现状 | 第13-14页 |
| ·硅锭的制备方法 | 第14-15页 |
| ·多晶硅锭的制备 | 第15-18页 |
| ·多晶硅铸锭的原理和工艺 | 第18-22页 |
| ·定向凝固法铸造多晶硅的原理 | 第18-19页 |
| ·定向凝固铸造多晶的工艺过程 | 第19-22页 |
| ·多晶硅锭中的杂质和缺陷 | 第22-24页 |
| ·多晶硅锭中的杂质 | 第22-23页 |
| ·多晶硅锭中的缺陷 | 第23-24页 |
| ·有限元法在晶体生长中的应用 | 第24-26页 |
| ·有限元法简介 | 第25页 |
| ·有限元法求解步骤 | 第25-26页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第26-29页 |
| 第二章 热场 | 第29-36页 |
| ·定向凝固铸造多晶过程中的热传输 | 第30-34页 |
| ·炉体内热量传输的基本规律 | 第30-31页 |
| ·与周围环境发生热量交换的基本规律 | 第31-33页 |
| ·边界条件 | 第33页 |
| ·结晶潜热 | 第33-34页 |
| ·多晶铸锭的减压工艺 | 第34-36页 |
| 第三章 加热器的优化 | 第36-44页 |
| ·加热方式分析 | 第36-37页 |
| ·加热器材料的分析及结构选择 | 第37-39页 |
| ·加热器材料选择 | 第37-38页 |
| ·加热器结构选择 | 第38-39页 |
| ·加热器的设计 | 第39-44页 |
| ·石墨加热器的设计计算 | 第39-40页 |
| ·加热器表面负荷校核 | 第40页 |
| ·石墨加热器的应力校核 | 第40-41页 |
| ·变压器确定 | 第41页 |
| ·水冷电极的设计 | 第41-43页 |
| ·石墨加热器的应用效果 | 第43-44页 |
| 第四章 隔热屏的研究 | 第44-49页 |
| ·隔热屏材料的分析及选择 | 第44-45页 |
| ·隔热屏的设计 | 第45-47页 |
| ·确定隔热屏的厚度 | 第45-47页 |
| ·隔热屏的结构设计 | 第47页 |
| ·隔热屏内的温度分布 | 第47-49页 |
| 第五章 真空加热室的设计 | 第49-57页 |
| ·简体的设计 | 第49-52页 |
| ·计算筒体内壁厚度 | 第50-51页 |
| ·圆筒炉壳水压试验时内壁应力校核 | 第51页 |
| ·计算筒体外壁厚度 | 第51-52页 |
| ·外壁应力校核 | 第52页 |
| ·封头的设计 | 第52-54页 |
| ·计算内壁封头厚度 | 第52-53页 |
| ·计算外壁封头厚度 | 第53-54页 |
| ·炉壳顶部平盖的设计 | 第54-55页 |
| ·平盖厚度的确定 | 第54-55页 |
| ·平盖冷却水道的设计 | 第55页 |
| ·真空炉室其它部件的设计 | 第55-57页 |
| ·观察窗的设计 | 第55-56页 |
| ·其它部件的设计 | 第56-57页 |
| 第六章 热场的数值模拟 | 第57-70页 |
| ·晶体和熔体中的温度分布 | 第57-60页 |
| ·固液界面的温度场 | 第60-63页 |
| ·凝固过程的数值模拟 | 第63-68页 |
| ·数学模型 | 第63页 |
| ·计算求解流程 | 第63-64页 |
| ·计算结果 | 第64-65页 |
| ·实验结果比较 | 第65-68页 |
| ·分析与讨论 | 第68-70页 |
| ·固液界面的影响 | 第68-69页 |
| ·位错的分布 | 第69-70页 |
| 第七章 结论与展望 | 第70-72页 |
| ·主要结论和研究成果 | 第70页 |
| ·课题研究展望 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 附录 攻读硕士期间发表的论文及申请的专利 | 第78页 |
