纳米氮化锆涂层腐蚀因素研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-16页 |
| ·Zr-N涂层发展及研究现状 | 第10-13页 |
| ·选题意义 | 第13-14页 |
| ·研究目的与内容 | 第14-16页 |
| 第二章 概述 | 第16-24页 |
| ·电化学基础 | 第16-18页 |
| ·极化 | 第16页 |
| ·极化原因 | 第16-17页 |
| ·极化曲线 | 第17页 |
| ·电化学腐蚀过程 | 第17页 |
| ·电化学性能分析 | 第17-18页 |
| ·腐蚀研究的电化学方法 | 第18-20页 |
| ·电化学测量原理 | 第18-19页 |
| ·电化学计算方法 | 第19-20页 |
| ·Zr-N涂层系列的研究及应用 | 第20-24页 |
| ·Zr-N多涂层系列的研究现状 | 第20-21页 |
| ·Zr-N多元复合涂层研究现状 | 第21-22页 |
| ·Zr-N系列涂层的应用 | 第22-23页 |
| ·展望 | 第23-24页 |
| 第三章 仪器及原理 | 第24-29页 |
| ·溅射 | 第24-26页 |
| ·溅射镀膜原理 | 第24页 |
| ·溅射过程 | 第24-26页 |
| ·磁控溅射 | 第26-29页 |
| ·磁控溅射沉积镀膜机理 | 第26-27页 |
| ·磁控溅射的特点 | 第27-28页 |
| ·磁控溅射技术进展 | 第28-29页 |
| 第四章 实验工艺及实验方案 | 第29-35页 |
| ·研究方案 | 第29页 |
| ·研究所涉及和拟解决的关键问题 | 第29-30页 |
| ·Zr-N涂层的制备流程 | 第30-33页 |
| ·镀前处理 | 第30页 |
| ·镀膜工艺流程 | 第30-32页 |
| ·涂层样品制备参数 | 第32-33页 |
| ·样品检测 | 第33-35页 |
| ·厚度测量 | 第33页 |
| ·电化学测量 | 第33-35页 |
| 第五章 制备参量的防腐性能研究 | 第35-49页 |
| ·工作气压的防腐性能研究 | 第35-38页 |
| ·极化曲线测量 | 第35-36页 |
| ·腐蚀电位测量 | 第36-37页 |
| ·结果分析 | 第37-38页 |
| ·氮气流量的防腐性能研究 | 第38-41页 |
| ·极化曲线测量 | 第38-39页 |
| ·腐蚀电位测量 | 第39-40页 |
| ·结果分析 | 第40-41页 |
| ·基体偏压的防腐性能研究 | 第41-43页 |
| ·极化曲线测量 | 第41-42页 |
| ·腐蚀电位测量 | 第42页 |
| ·结果分析 | 第42-43页 |
| ·沉积温度的防腐性能影响 | 第43-45页 |
| ·极化曲线测量 | 第43-44页 |
| ·腐蚀电位测量 | 第44页 |
| ·结果分析 | 第44-45页 |
| ·制备参数的优化 | 第45-49页 |
| ·极化曲线测量 | 第46-47页 |
| ·腐蚀电位测量 | 第47-48页 |
| ·结果分析 | 第48-49页 |
| 第六章 颜色及沉积速率的制备参量研究 | 第49-56页 |
| ·沉积速率的制备参数研究 | 第49-53页 |
| ·工作气压的影响 | 第49-50页 |
| ·氮气流量的影响 | 第50-51页 |
| ·基体偏压的影响 | 第51-52页 |
| ·沉积温度的影响 | 第52-53页 |
| ·涂层颜色的制备参数研究 | 第53-56页 |
| ·溅射气压的影响 | 第53-54页 |
| ·氮气流量的影响 | 第54页 |
| ·基体偏压的影响 | 第54页 |
| ·沉积温度的影响 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
