| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 前言 | 第10-29页 |
| ·缓蚀剂科技的发展历史 | 第10-12页 |
| ·缓蚀机理的实验研究方法及现代表面分析技术 | 第12-15页 |
| ·缓蚀机理的实验研究方法 | 第12-13页 |
| ·现代表面分析技术 | 第13-15页 |
| ·缓蚀机理的计算机模拟研究方法 | 第15-17页 |
| ·量子化学计算方法 | 第15-16页 |
| ·分子动力学模拟方法 | 第16-17页 |
| ·有机缓蚀剂的计算模拟研究现状 | 第17-22页 |
| ·缓蚀剂分子的量化参数与缓蚀性能的关系 | 第17-20页 |
| ·结合腐蚀过程的缓蚀剂量子化研究 | 第20-21页 |
| ·缓蚀剂的吸脱附与缓蚀模型 | 第21-22页 |
| ·苯并咪唑类缓蚀剂研究现状 | 第22-27页 |
| ·苯并咪唑缓蚀剂的结构 | 第23页 |
| ·苯并咪唑缓蚀剂的性能研究 | 第23-24页 |
| ·苯并咪唑缓蚀剂的缓蚀机理研究 | 第24-27页 |
| ·缓蚀机理的计算机模拟研究展望 | 第27页 |
| ·本论文的研究工作 | 第27-29页 |
| 第二章 理论方法与计算软件简介 | 第29-37页 |
| ·理论方法 | 第29-35页 |
| ·密度泛函理论（DFT） | 第29-31页 |
| ·B3LYP方法 | 第31页 |
| ·前线轨道理论 | 第31-32页 |
| ·自然键轨道（NBO）理论 | 第32页 |
| ·分子动力学模拟方法 | 第32-35页 |
| ·Gaussian和Material Studio软件简介 | 第35-37页 |
| ·Gaussian软件简介 | 第35-36页 |
| ·Material Studio软件简介 | 第36-37页 |
| 第三章 苯并咪唑及其衍生物缓蚀性能的理论评价研究 | 第37-46页 |
| ·引言 | 第37-38页 |
| ·理论计算 | 第38页 |
| ·计算结果与讨论 | 第38-44页 |
| ·溶剂条件下分子结构 | 第38-39页 |
| ·全局反应活性 | 第39-40页 |
| ·缓蚀剂分子的反应活性位点 | 第40-42页 |
| ·分子量子化学参数与缓蚀剂缓蚀性的关系 | 第42-43页 |
| ·分子动力学模拟 | 第43-44页 |
| ·结论 | 第44-46页 |
| 第四章 苯并咪唑类缓蚀剂在Fe(001)面吸附的MD研究 | 第46-54页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·模型建立和计算方法 | 第46-47页 |
| ·模型建立 | 第46-47页 |
| ·计算方法 | 第47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-52页 |
| ·模拟体系的平衡 | 第47-48页 |
| ·缓蚀剂分子与Fe(001)面的吸附能 | 第48-52页 |
| ·缓蚀剂分子在Fe面吸附方位 | 第52页 |
| ·结论 | 第52-54页 |
| 第五章 腐蚀介质在缓蚀剂保护膜中扩散行为的MD研究 | 第54-62页 |
| ·引言 | 第54-55页 |
| ·理论计算 | 第55-56页 |
| ·模型建立 | 第55页 |
| ·计算方法 | 第55-56页 |
| ·结果与讨论 | 第56-61页 |
| ·有机缓蚀剂分子在Fe表面吸附成膜 | 第56-57页 |
| ·离子与分子膜相互作用能量 | 第57-58页 |
| ·Cl~- 、H~+在缓蚀剂保护膜中的扩散行为 | 第58-59页 |
| ·缓蚀剂分子膜的自由体积 | 第59-61页 |
| ·结论 | 第61-62页 |
| 第六章 2-巯基-苯并咪唑分子缓蚀机理的理论研究 | 第62-69页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·实验方法和理论计算 | 第62-64页 |
| ·实验方法 | 第62-63页 |
| ·模型建立与计算方法 | 第63-64页 |
| ·结果与讨论 | 第64-68页 |
| ·室温下缓蚀剂质量分数的变化对缓蚀剂缓蚀效率的影响 | 第64页 |
| ·稳态极化曲线的测定 | 第64-65页 |
| ·分子在Fe(001)面上稳定的吸附位置 | 第65页 |
| ·电子结构分析 | 第65-68页 |
| ·结论 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-77页 |
| 论文发表情况 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
