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考虑晶界离散分布的多晶硅薄膜晶体管模型研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-13页
第一章 绪论第13-25页
   ·研究背景和意义第13页
   ·国内外研究现状第13-22页
     ·多晶硅薄膜模型的研究现状第13-16页
     ·Poly-Si TFTs 的研究现状第16-21页
     ·DG Poly-Si TFTs 的研究现状第21-22页
   ·主要研究内容及论文结构第22-23页
   ·本章小结第23-25页
第二章 多晶硅薄膜电导模型第25-40页
   ·引言第25页
   ·多晶硅薄膜电导特性第25-34页
     ·空间电荷势垒第26-29页
     ·电流密度第29-32页
     ·平均载流子浓度第32-34页
   ·模型仿真与结果分析第34-39页
   ·本章小结第39-40页
第三章 基于晶界离散分布的poly-Si TFTs有效迁移率模型第40-60页
   ·引言第40-41页
   ·有效迁移率特性和模型建模第41-50页
     ·载流子浓度和空间电荷势垒第41-44页
     ·低漏压下沟道迁移率第44-46页
     ·高漏压下沟道迁移率第46-49页
     ·电流方程第49-50页
   ·模型仿真和结果分析第50-59页
     ·晶界空间电荷势垒第50-51页
     ·转移特性第51-57页
     ·输出特性第57-59页
   ·本章小结第59-60页
第四章 基于表面势和离散晶界分布的poly-Si TFTs漏电流模型第60-79页
   ·引言第60-61页
   ·Poly-Si TFTs 漏电流模型建模第61-72页
     ·小TFT 表面势及自由电荷第61-66页
     ·晶界势垒高度与小TFT 的迁移率第66-71页
     ·poly-Si TFTs 漏电流第71-72页
   ·模型验证和结果分析第72-78页
   ·本章小结第78-79页
第五章 基于晶界离散分布的DG poly-Si TFTs漏电流模型第79-94页
   ·引言第79-80页
   ·DG poly-Si TFTs 漏电流模型推导第80-89页
     ·沟道纵向电势的求解第81-83页
     ·局部迁移率第83-85页
     ·漏电流第85-89页
   ·仿真结果与讨论第89-93页
   ·本章小结第93-94页
结论第94-96页
参考文献第96-109页
附录第109-111页
攻读博士学位期间取得的研究成果第111-113页
致谢第113-114页
附表第114页

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