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氨化磁控溅射硅基Ga2O3/Cr薄膜制备GaN纳米结构的研究

中文摘要第1-7页
Abstract第7-10页
第一章 绪论第10-23页
   ·GaN 材料的晶体结构及基本性质第11-12页
   ·GaN 材料的研究概况第12-20页
   ·Cr 材料的基本性质、应用和研究进展第20-21页
   ·本论文的选题依据第21-23页
第二章 实验设备与制备方法第23-29页
   ·实验设备介绍第23-25页
   ·实验材料第25-26页
   ·样品的测试和表征第26-29页
第三章 在Cr 中间层上催化合成一维GaN 纳米结构第29-50页
   ·氨化溅射Ga_2O_3/Cr 薄膜制备GaN 纳米线第29-30页
   ·氨化温度对合成一维GaN 纳米结构的影响第30-38页
   ·氨化时间对合成一维GaN 纳米结构的影响第38-43页
   ·Cr 层厚度对合成一维GaN 纳米结构的影响第43-44页
   ·Si 衬底的粗糙程度对合成一维GaN 纳米结构的影响第44-46页
   ·一维GaN 纳米结构生长机制探索第46-49页
 本章小结第49-50页
第四章 全文总结第50-53页
   ·本论文的主要研究成果第50-51页
   ·对以后工作的建议第51-53页
参考文献第53-60页
攻读硕士学位期间发表的论文第60-62页
致谢第62-63页

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