掺硅类金刚石膜的微观结构和摩擦学性能的分子动力学模拟研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| ·类金刚石膜 | 第11-13页 |
| ·掺硅类金刚石(Si-DLC)膜 | 第13-22页 |
| ·Si-DLC的制备 | 第13-14页 |
| ·Si-DLC膜的应用 | 第14-17页 |
| ·Si-DLC的实验研究 | 第17-20页 |
| ·Si-DLC的理论研究 | 第20-22页 |
| ·本课题的意义及完成的主要工作 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 2 分子动力学模拟方法 | 第25-43页 |
| ·概述 | 第25-26页 |
| ·平衡态分子动力学模拟 | 第26-33页 |
| ·基本方程 | 第26-27页 |
| ·求解方法 | 第27-29页 |
| ·边界条件与初值 | 第29-31页 |
| ·能量、压力和温度的控制 | 第31-33页 |
| ·Si-DLC膜制备过程的模拟 | 第33-40页 |
| ·模型构造描述 | 第33-34页 |
| ·势函数的选择 | 第34-37页 |
| ·熔融退火(NVT)和降压成膜(NPT) | 第37-40页 |
| ·滑移摩擦的模拟 | 第40-41页 |
| ·滑移模型的建立 | 第40页 |
| ·膜间加载和滑移 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 3 微观结构 | 第43-55页 |
| ·薄膜结构 | 第43-44页 |
| ·结合键类型和数量 | 第44-45页 |
| ·体积模量 | 第45-48页 |
| ·径向分布函数 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-55页 |
| 4 滑动摩擦 | 第55-71页 |
| ·正压力与摩擦力随硅含量的变化 | 第55-58页 |
| ·膜内膜间结合键的形成与断裂 | 第58-68页 |
| ·本章小结 | 第68-71页 |
| 5 结论 | 第71-73页 |
| ·结论 | 第71-72页 |
| ·展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 附录A | 第77-79页 |
| 附录B | 第79-81页 |
| 作者简历 | 第81-85页 |
| 学位论文数据集 | 第85页 |
