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磁控溅射法在镁锂合金表面制备防腐涂层的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
第1章 绪论第8-21页
   ·镁锂合金概述第8-10页
     ·金属镁和金属锂的性质第8页
     ·镁锂合金的优良特性第8-10页
     ·镁锂合金的应用第10页
   ·镁锂合金的腐蚀机理第10-13页
     ·镁的腐蚀行为第10-12页
     ·镁锂合金的腐蚀行为第12-13页
   ·表面防护技术第13-18页
     ·电镀和化学镀第13-14页
     ·化学转化第14页
     ·阳极氧化第14页
     ·离子注入第14-15页
     ·物理气相沉积技术第15-18页
   ·镁锂合表面防腐研究现状第18-19页
   ·论文研究意义及内容第19-21页
第2章 直流反应磁控溅射原理、实验材料、工艺以及研究方法第21-29页
   ·溅射机理第21-23页
     ·入射能量参数第21-22页
     ·溅射能量参数第22-23页
   ·实验材料第23-25页
   ·工艺流程第25页
   ·研究方法第25-28页
     ·膜层结构分析第25-26页
     ·表面形貌观察第26页
     ·质量的称取第26页
     ·腐蚀实验第26-28页
   ·小结第28-29页
第3章 单层金属薄膜制备与耐腐蚀性能研究第29-42页
   ·实验方法第29-32页
     ·实验材料第29页
     ·实验流程及操作第29-31页
     ·铝钛单层金属薄膜制备工艺探索第31-32页
   ·结果与讨论第32-41页
     ·抛光后镁锂合金样品的表征第32-34页
     ·单层铝薄膜和钛薄膜的物相及表面形貌表征第34-37页
     ·镁锂合金表面单层薄膜的耐腐性能第37-41页
   ·小结第41-42页
第4章 单层氮化铝和氮化钛薄膜制备与耐腐蚀性能研究第42-52页
   ·实验方法第42-45页
     ·实验材料第42页
     ·实验方案第42-43页
     ·氮化铝薄膜和氮化钛薄膜的初步测试第43-45页
   ·结果与讨论第45-51页
     ·单层氮化铝薄膜和氮化钛薄膜的物相及表面形貌表征第45-47页
     ·镁锂合金表面单层薄膜的耐腐性能第47-51页
   ·小节第51-52页
第5章 多层复合薄膜的制备与耐腐性能研究第52-61页
   ·实验方法第52-53页
   ·结果与讨论第53-60页
     ·多层复合薄膜的物相及表面形貌第53-57页
     ·镁锂合金表面复合薄膜防腐性能第57-60页
   ·小结第60-61页
结论第61-62页
参考文献第62-67页
致谢第67页

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