| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·压电材料简介 | 第9-11页 |
| ·压电效应 | 第9-10页 |
| ·压电材料的主要性能参数 | 第10-11页 |
| ·压电材料的发展简史及其性质与应用 | 第11-13页 |
| ·压电材料的发展简史 | 第11-13页 |
| ·压电材料的性质与应用 | 第13页 |
| ·无铅压电材料的研究现状 | 第13-16页 |
| ·无铅压电材料的研究背景 | 第13-14页 |
| ·无铅压电陶瓷体系简介 | 第14-16页 |
| ·钛酸铋钠基无铅压电材料的研究现状 | 第16-19页 |
| ·钛酸铋钠基无铅压电材料的概述 | 第16-18页 |
| ·钛酸铋钠基无铅压电材料的性质及其应用 | 第18-19页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第19-21页 |
| ·本论文的选题依据 | 第19页 |
| ·本论文的主要工作 | 第19-21页 |
| 第2章 NBT-BT6 无铅压电薄膜的制备 | 第21-32页 |
| ·MOD 制膜方法简介 | 第21页 |
| ·MOD 法制膜所需的仪器及环境要求 | 第21-25页 |
| ·制膜所需的仪器 | 第21-24页 |
| ·制膜的环境要求 | 第24-25页 |
| ·实验材料 | 第25-26页 |
| ·衬底的选取和清洗处理 | 第25页 |
| ·配制前驱液所需的化学药品 | 第25-26页 |
| ·MOD 法制备薄膜的工艺过程 | 第26-30页 |
| ·前驱体溶液的配置流程 | 第26-27页 |
| ·薄膜制备的工艺流程 | 第27-28页 |
| ·薄膜表面异物问题的解决 | 第28-29页 |
| ·薄膜顶电极的制备 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 NBT-BT6 无铅压电薄膜微观结构及性能的表征 | 第32-44页 |
| ·压电薄膜的表征方法 | 第32-38页 |
| ·薄膜微观结构的表征方法 | 第32-35页 |
| ·薄膜性能的表征方法 | 第35-38页 |
| ·NBT-BT6 薄膜的微观结构及形貌 | 第38-40页 |
| ·XRD 与EDS 分析晶体结构和成分 | 第38-39页 |
| ·AFM 与FE-SEM 分析表面形貌和截面形貌 | 第39-40页 |
| ·NBT-BT6 薄膜的电学性能 | 第40-41页 |
| ·电滞回线测试与模拟 | 第40-41页 |
| ·介电频谱测试与分析 | 第41页 |
| ·压电特性测试与分析 | 第41-43页 |
| ·SPM 测试压电响应的方法 | 第41-42页 |
| ·压电D-V 曲线和d_(33)~ -V 回线测试与分析 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 退火温度对NBT-BT6 压电薄膜微观结构及性能的影响 | 第44-51页 |
| ·退火技术简介 | 第44页 |
| ·退火温度对NBT-BT6 薄膜的微观结构及形貌的影响 | 第44-46页 |
| ·XRD 分析晶体结构 | 第44-45页 |
| ·AFM 与FE-SEM 分析表面形貌和截面形貌 | 第45-46页 |
| ·退火温度对NBT-BT6 薄膜的电学性能的影响 | 第46-48页 |
| ·电滞回线测试与分析 | 第46-47页 |
| ·介电频谱测试与分析 | 第47-48页 |
| ·退火温度对NBT-BT6 薄膜压电性能的影响 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 总结和展望 | 第51-53页 |
| ·论文总结 | 第51-52页 |
| ·工作展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第58页 |
