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铜基石墨烯化学气相沉积扩散机制研究

摘要第4-6页
英文摘要第6-13页
第一章 绪论第13-44页
    1.1 碳材料的发展史及应用第13-21页
    1.2 石墨烯的结构特征和基本性质第21-26页
    1.3 石墨烯的制备方法第26-29页
    1.4 石墨烯的应用第29-36页
    1.5 本论文工作架构第36页
    参考文献第36-44页
第二章 CVD法制备石墨烯简介第44-60页
    2.1 石墨烯的CVD制备第44-49页
    2.2 石墨烯的转移第49-52页
    2.3 石墨烯的表征第52-55页
    参考文献第55-60页
第三章 CVD法制备毫米单晶石墨烯第60-75页
    3.1 引言第60页
    3.2 氢气对石墨烯生长的影响第60-66页
    3.3 石墨烯成核密度影响因素第66-70页
    3.4 铜衬底晶向对石墨烯形貌的影响第70-72页
    3.5 本章小结第72-73页
    参考文献第73-75页
第四章 石墨烯扩散机制研究第75-95页
    4.1 CVD生长研究现状及问题第75-78页
    4.2 石墨烯映射现象第78-85页
    4.3 同位素标定实验及分析第85-89页
    4.4 石墨烯扩散机制模型第89-90页
    4.5 扩散机制的应用第90-91页
    4.6 本章小结第91-92页
    参考文献第92-95页
第五章 石墨烯反常刻蚀现象研究第95-109页
    5.1 刻蚀研究现状及问题第95-97页
    5.2 发现反常刻蚀现象第97-99页
    5.3 同位素追踪刻蚀过程及分析第99-102页
    5.4 动态刻蚀过程机理解释第102-104页
    5.5 高覆盖率双层石墨烯制备第104-105页
    5.6 本章小结第105页
    参考文献第105-109页
第六章 亚毫米级双多层石墨烯制备第109-124页
    6.1 双多层石墨烯研究现状及问题第109-112页
    6.2 三明治结构石墨烯生长分析第112-117页
    6.3 亚毫米级双多层石墨烯的制备第117-118页
    6.4 夹层铜粗糙度对双多层石墨烯成核影响第118-120页
    6.5 本章小结第120页
    参考文献第120-124页
总结和展望第124-126页
博士期间发表论文第126-127页
致谢第127-128页

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