基于压电陶瓷驱动器的微纳定位控制系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 迟滞性消除的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 微纳定位平台的研究现状 | 第13-16页 |
| 1.4 论文基本内容 | 第16-19页 |
| 第二章 压电陶瓷驱动器特性的研究 | 第19-33页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 电致伸缩效应 | 第19页 |
| 2.3 压电效应与逆压电效应 | 第19-21页 |
| 2.3.1 压电效应 | 第19-20页 |
| 2.3.2 逆压电效应 | 第20-21页 |
| 2.4 压电陶瓷驱动器 | 第21-25页 |
| 2.4.1 压电陶瓷驱动器的工作原理 | 第21-22页 |
| 2.4.2 压电陶瓷驱动器的蠕变特性 | 第22-24页 |
| 2.4.3 压电陶瓷驱动器的非线性特性 | 第24页 |
| 2.4.4 压电陶瓷驱动器的温度特性 | 第24-25页 |
| 2.5 压电陶瓷驱动器的力—位移关系分析 | 第25-28页 |
| 2.6 压电陶瓷驱动器的预紧力分析 | 第28-31页 |
| 2.7 本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动器的迟滞建模与消除 | 第33-49页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 Prandtl-Ishlinskii模型 | 第33-36页 |
| 3.3 传统P-I模型建模及逆模型 | 第36-38页 |
| 3.4 基于压电陶瓷运动速度规律的三段P-I模型 | 第38-44页 |
| 3.4.1 压电陶瓷运动速度与施加电压的关系 | 第38-41页 |
| 3.4.2 三段P-I建模法 | 第41-44页 |
| 3.5 实验对比 | 第44-46页 |
| 3.5.1 XL-80激光干涉仪 | 第44-45页 |
| 3.5.2 HVA驱动电源 | 第45页 |
| 3.5.3 实验方案与结果 | 第45-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-49页 |
| 第四章 微纳定位平台的闭环控制 | 第49-67页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 定位平台的复合控制方案 | 第49-50页 |
| 4.3 PID控制器 | 第50-51页 |
| 4.4 模糊PID控制器 | 第51-55页 |
| 4.5 定位系统的建模 | 第55-57页 |
| 4.5.1 驱动源的数学模型 | 第55-56页 |
| 4.5.2 定位平台的数学模型 | 第56-57页 |
| 4.6 Simulink仿真与控制效果对比 | 第57-65页 |
| 4.7 本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章 结论与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 结论 | 第67-68页 |
| 5.2 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 作者简介 | 第73页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
