基于光场调控的光学晶格的设计及其在精密测量中的应用
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 光学晶格发展概述 | 第8-11页 |
| 1.2 光学晶格的几种实验产生方法 | 第11-15页 |
| 1.3 光学晶格的几个典型应用 | 第15-18页 |
| 1.4 晶格层光显微技术的研究意义 | 第18-20页 |
| 1.5 光学晶格在形貌测量领域的潜在应用 | 第20-21页 |
| 1.6 本文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 光学晶格的设计及实验方法 | 第22-40页 |
| 2.1 理想光学晶格的设计 | 第22-29页 |
| 2.1.1 光学晶格的产生机理 | 第22-24页 |
| 2.1.2 原始光学晶格的设计 | 第24-27页 |
| 2.1.3 组合和稀疏光学晶格的设计 | 第27-29页 |
| 2.2 光学晶格的实验产生方法 | 第29-33页 |
| 2.3 实验结果与讨论 | 第33-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-40页 |
| 第三章 光晶格轮廓术 | 第40-54页 |
| 3.1 光晶格轮廓术的测量原理 | 第40-47页 |
| 3.1.1 最大对称基础方晶格的建模 | 第40-42页 |
| 3.1.2 光学晶格的变化与表面形貌间的关系 | 第42-44页 |
| 3.1.3 解相位算法 | 第44-45页 |
| 3.1.4 形貌重构算法 | 第45-47页 |
| 3.2 光晶格轮廓术的实验光路 | 第47-48页 |
| 3.3 实验结果与讨论 | 第48-53页 |
| 3.3.1 倾斜变形的重构结果 | 第49-51页 |
| 3.3.2 凸起变形的重构结果 | 第51-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 晶格层光显微技术的研究 | 第54-72页 |
| 4.1 晶格层光显微技术的原理 | 第54-60页 |
| 4.1.1 层光显微技术基础 | 第54-55页 |
| 4.1.2 激发光照明策略 | 第55-60页 |
| 4.2 晶格层光显微系统的搭建 | 第60-67页 |
| 4.2.1 系统总体框架 | 第60-62页 |
| 4.2.2 光路系统 | 第62-66页 |
| 4.2.3 软件控制策略 | 第66-67页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第67-68页 |
| 4.4 光路搭建中的难点分析 | 第68-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-72页 |
| 第五章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
