| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-22页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 涂层的发展 | 第13-14页 |
| 1.3 薄膜的生长过程 | 第14-16页 |
| 1.4 薄膜的制备方法 | 第16-17页 |
| 1.5 薄膜的分类 | 第17-20页 |
| 1.5.1 纳米复合膜 | 第17-19页 |
| 1.5.2 纳米多层膜 | 第19-20页 |
| 1.6 选题意义与研究内容 | 第20-22页 |
| 1.6.1 选题意义 | 第20-21页 |
| 1.6.2 研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 薄膜的表征和制备 | 第22-27页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 薄膜的制备方法与设备 | 第22-24页 |
| 2.2.1 磁控溅射原理 | 第22-23页 |
| 2.2.2 薄膜制备设备 | 第23页 |
| 2.2.3 薄膜衬底的加工 | 第23-24页 |
| 2.3 薄膜表征设备 | 第24-27页 |
| 2.3.1 X射线衍射仪(XRD) | 第24页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第24-25页 |
| 2.3.3 纳米力学测试系统 | 第25-26页 |
| 2.3.4 摩擦磨损仪 | 第26-27页 |
| 第3章 TiMgN复合膜微结构、力学及摩擦磨损性能研究 | 第27-43页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 薄膜的制备与表征 | 第27-28页 |
| 3.2.1 薄膜制备 | 第27-28页 |
| 3.2.2 薄膜表征 | 第28页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第28-41页 |
| 3.3.1 微结构 | 第28-34页 |
| 3.3.2 力学性能 | 第34-35页 |
| 3.3.3 室温摩擦磨损性能 | 第35-39页 |
| 3.3.4 高温摩擦磨损性能 | 第39-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 TiBN复合膜的微结构、力学及摩擦磨损性能 | 第43-59页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 薄膜制备与表征 | 第43-44页 |
| 4.2.1 薄膜的制备 | 第43-44页 |
| 4.2.2 薄膜的表征 | 第44页 |
| 4.3 结果结果及讨论 | 第44-57页 |
| 4.3.1 微结构 | 第44-50页 |
| 4.3.2 力学性能 | 第50-53页 |
| 4.3.3 室温摩擦磨损性能 | 第53-55页 |
| 4.3.4 高温摩擦磨损性能 | 第55-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 第5章 TiMoBN薄膜的微结构、力学及摩擦磨损性能研究 | 第59-72页 |
| 5.1 引言 | 第59页 |
| 5.2 薄膜制备与表征 | 第59-60页 |
| 5.2.1 薄膜的制备 | 第59-60页 |
| 5.2.2 薄膜的表征 | 第60页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第60-71页 |
| 5.3.1 微结构 | 第60-64页 |
| 5.3.2 显微硬度和膜基结合力 | 第64-66页 |
| 5.3.3 室温摩擦磨损性能 | 第66-68页 |
| 5.3.4 中高温摩擦磨损性能 | 第68-71页 |
| 5.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
