| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第13-22页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第13-14页 |
| 1.2 金刚石飞秒激光烧蚀加工概述 | 第14-16页 |
| 1.2.1 金刚石材料加工难点 | 第14-15页 |
| 1.2.2 飞秒激光加工技术 | 第15页 |
| 1.2.3 飞秒激光加工特点 | 第15-16页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第16-20页 |
| 1.3.1 激光加工金刚石的研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3.2 飞秒激光加工研究现状 | 第19-20页 |
| 1.4 本文研究内容及目标 | 第20-22页 |
| 第2章 飞秒激光烧蚀加工单晶金刚石实验平台搭建 | 第22-28页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 飞秒激光修整实验平台主要设备 | 第22-24页 |
| 2.2.1 飞秒激光器 | 第22-23页 |
| 2.2.2 2D振镜激光扫描系统 | 第23-24页 |
| 2.2.3 位移加工平台 | 第24页 |
| 2.3 飞秒激光烧蚀加工单晶金刚石实验平台 | 第24-25页 |
| 2.4 平面磨床 | 第25页 |
| 2.5 主要测试仪器 | 第25-27页 |
| 2.5.1 视频显微镜 | 第25-26页 |
| 2.5.2 超景深三维显微镜 | 第26-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 单晶金刚石飞秒激光烧蚀阈值试验研究 | 第28-40页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 激光烧蚀阈值的计算方法 | 第28-30页 |
| 3.2.1 烧蚀阈值试验方案设计 | 第28-29页 |
| 3.2.2 烧蚀阈值计算原理 | 第29-30页 |
| 3.3 烧蚀阈值试验材料与方法 | 第30-33页 |
| 3.3.1 试验材料 | 第30-31页 |
| 3.3.2 激光脉冲分离 | 第31-32页 |
| 3.3.3 试验方法 | 第32-33页 |
| 3.4 单晶金刚石飞秒激光烧蚀阈值试验结果及分析 | 第33-35页 |
| 3.5 飞秒激光单晶金刚石多脉冲烧蚀试验研究 | 第35-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 飞秒激光成型烧蚀工艺参数研究 | 第40-53页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 飞秒激光烧蚀试验与结果分析 | 第40-48页 |
| 4.2.1 激光功率密度对单晶金刚石烧蚀的影响 | 第40-43页 |
| 4.2.2 激光光斑重叠率对单晶金刚石烧蚀的影响 | 第43-46页 |
| 4.2.3 激光循环扫描次数对单晶金刚石烧蚀的影响 | 第46-48页 |
| 4.3 基于最优工艺参数的金刚石凹形结构成型烧蚀试验 | 第48-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 第5章 飞秒成型烧蚀正前角金刚石磨粒滑擦试验研究 | 第53-61页 |
| 5.1 引言 | 第53-54页 |
| 5.2 试验材料与方案 | 第54-56页 |
| 5.2.1 单颗磨粒磨具结构设计 | 第54页 |
| 5.2.2 单颗金刚石磨粒镶块的制备 | 第54-55页 |
| 5.2.3 试验方案设计 | 第55-56页 |
| 5.3 单颗正前角金刚石磨粒的制备 | 第56-58页 |
| 5.3.1 成型烧蚀工艺参数的确定 | 第56-57页 |
| 5.3.2 烧蚀结果分析 | 第57-58页 |
| 5.4 单颗正前角金刚石磨粒磨削试验结果分析 | 第58-60页 |
| 5.4.1 磨削工艺参数的确定 | 第58-59页 |
| 5.4.2 试验结果与分析 | 第59-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论与展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 附录A 攻读硕士期间所发表的学术论文目录 | 第67页 |