| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 三维微表面形貌测量的现状与发展 | 第8-11页 |
| 1.2.1 三维微表面形貌的探针测量技术 | 第9页 |
| 1.2.2 三维微表面形貌的光学测量技术 | 第9-10页 |
| 1.2.3 各种形貌测量方法的特点以及优缺点 | 第10-11页 |
| 1.3 本文的研究意义 | 第11-12页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 相移干涉技术理论基础 | 第14-26页 |
| 2.1 干涉显微测量系统 | 第14-17页 |
| 2.2 相移干涉技术 | 第17-19页 |
| 2.2.1 空间载波相移法 | 第17-18页 |
| 2.2.2 空间相移法 | 第18页 |
| 2.2.3 时间相移法 | 第18-19页 |
| 2.3 压电陶瓷微位移调整系统 | 第19-20页 |
| 2.4 相位提取算法 | 第20-25页 |
| 2.4.1 定步长相移算法 | 第21-23页 |
| 2.4.2 等步长相移算法 | 第23-24页 |
| 2.4.3 非定步长相移算法 | 第24-25页 |
| 2.5 相位的解包裹 | 第25页 |
| 2.6 本章总结 | 第25-26页 |
| 第3章 相移的计算及形貌测量实验 | 第26-44页 |
| 3.1 FFT计算相移的原理 | 第26-28页 |
| 3.2 光强曲线的等周期处理 | 第28-32页 |
| 3.3 相移计算的实验 | 第32-38页 |
| 3.3.1 实验设备与系统 | 第32页 |
| 3.3.2 悬臂梁结构工艺过程 | 第32-34页 |
| 3.3.3 相移计算的分析与讨论 | 第34-38页 |
| 3.4 四步法理论 | 第38-39页 |
| 3.5 悬臂梁表面形貌测量实验 | 第39-42页 |
| 3.5.1 四步法形貌还原 | 第39-40页 |
| 3.5.2 四步法形貌还原与Kong-Kim迭代法形貌还原比较 | 第40-42页 |
| 3.6 测量系统的误差总结 | 第42页 |
| 3.7 本章总结 | 第42-44页 |
| 第4章 图形用户界面设计及功能实现 | 第44-54页 |
| 4.1 软件系统开发环境简介 | 第44页 |
| 4.2 软件界面的设计与实现 | 第44-48页 |
| 4.2.1 软件框架设计 | 第45-46页 |
| 4.2.2 GUI的建立与系统的编译 | 第46-48页 |
| 4.3 形貌还原系统实验平台 | 第48-53页 |
| 4.3.1 系统登陆 | 第48-49页 |
| 4.3.2 形貌还原 | 第49-53页 |
| 4.4 本章总结 | 第53-54页 |
| 第5章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 5.1 本文主要工作 | 第54页 |
| 5.2 本文的创新点 | 第54-55页 |
| 5.3 今后展望 | 第55页 |
| 5.4 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 致谢 | 第60页 |