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SEM中多机械手运动分析与协同操作方法研究

摘要第4-6页
abstract第6-7页
第一章 绪论第12-24页
    1.1 课题背景及研究意义第12-13页
    1.2 国内外研究现状第13-22页
        1.2.1 基于SPM的纳米操作技术研究现状第14-18页
        1.2.2 基于EM的纳米操作技术研究现状第18-21页
        1.2.3 混合式纳米操作技术研究现状第21页
        1.2.4 研究现状总结分析第21-22页
    1.3 课题来源第22页
    1.4 课题主要研究内容和论文结构第22-24页
第二章 纳米机器人操作系统的运动学分析第24-34页
    2.1 纳米机器人操作系统整体结构第24-27页
        2.1.1 纳米机器人操作系统结构第24-26页
        2.1.2 纳米机器人操作系统控制结构第26-27页
    2.2 纳米机器人操作系统的运动学分析第27-32页
        2.2.1 机器人正运动学方程的D-H表示第27-28页
        2.2.2 纳米操作器的正运动学分析第28-32页
    2.3 纳米操作机器人系统的运动空间计算第32-33页
    2.4 本章小结第33-34页
第三章 纳观下的力学建模与分析第34-49页
    3.1 纳尺度操作中的粘附力作用机理第34-37页
        3.1.1 范德华力第34-36页
        3.1.2 静电力第36-37页
    3.2 碳纳米管与末端执行器之间的作用力分析第37-42页
        3.2.1 范德华力分析第37-40页
        3.2.2 静电力分析第40-42页
    3.3 范德华力与静电力实验第42-48页
        3.3.1 CNT/AFM探针间范德华力实验测量第42-45页
        3.3.2 CNT/AFM探针间静电力实验测量第45-48页
    3.4 本章小结第48-49页
第四章 纳米操作中的任务及操作策略设计第49-69页
    4.1 纳米组装过程中的操作任务第49-51页
    4.2 不同任务的操作策略设计第51-60页
        4.2.1 复杂任务的简化第51-52页
        4.2.2 不同子任务的操作策略设计第52-60页
    4.3 子任务操作实验与策略优化第60-67页
        4.3.1 CNT接触实验第60-61页
        4.3.2 CNT拾取实验第61-66页
        4.3.3 CNT切割实验第66-67页
    4.4 本章小结第67-69页
第五章 机械手运动控制及多手协同操作实验研究第69-84页
    5.1 基于SEM图像的视觉反馈控制系统第69-71页
    5.2 基于SEM图像的SmarAct操作器运动测试第71-78页
        5.2.1 X轴线性度测试第72-73页
        5.2.2 Y轴线性度测试第73-74页
        5.2.3 基于图像清晰度的Z轴定位测试第74-75页
        5.2.4 偏移量大小测试第75-78页
    5.3 多机械手协同操作的实验验证第78-82页
        5.3.1 双手协同测试碳纳米管电学性能第78-81页
        5.3.2 四手协同操作实验及实验分析第81-82页
    5.4 本章小结第82-84页
第六章 总结与展望第84-87页
    6.1 本文总结第84-85页
    6.2 研究展望第85-87页
参考文献第87-93页
攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文第93-95页
致谢第95-96页

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