摘要 | 第4-6页 |
abstract | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第12-24页 |
1.1 课题背景及研究意义 | 第12-13页 |
1.2 国内外研究现状 | 第13-22页 |
1.2.1 基于SPM的纳米操作技术研究现状 | 第14-18页 |
1.2.2 基于EM的纳米操作技术研究现状 | 第18-21页 |
1.2.3 混合式纳米操作技术研究现状 | 第21页 |
1.2.4 研究现状总结分析 | 第21-22页 |
1.3 课题来源 | 第22页 |
1.4 课题主要研究内容和论文结构 | 第22-24页 |
第二章 纳米机器人操作系统的运动学分析 | 第24-34页 |
2.1 纳米机器人操作系统整体结构 | 第24-27页 |
2.1.1 纳米机器人操作系统结构 | 第24-26页 |
2.1.2 纳米机器人操作系统控制结构 | 第26-27页 |
2.2 纳米机器人操作系统的运动学分析 | 第27-32页 |
2.2.1 机器人正运动学方程的D-H表示 | 第27-28页 |
2.2.2 纳米操作器的正运动学分析 | 第28-32页 |
2.3 纳米操作机器人系统的运动空间计算 | 第32-33页 |
2.4 本章小结 | 第33-34页 |
第三章 纳观下的力学建模与分析 | 第34-49页 |
3.1 纳尺度操作中的粘附力作用机理 | 第34-37页 |
3.1.1 范德华力 | 第34-36页 |
3.1.2 静电力 | 第36-37页 |
3.2 碳纳米管与末端执行器之间的作用力分析 | 第37-42页 |
3.2.1 范德华力分析 | 第37-40页 |
3.2.2 静电力分析 | 第40-42页 |
3.3 范德华力与静电力实验 | 第42-48页 |
3.3.1 CNT/AFM探针间范德华力实验测量 | 第42-45页 |
3.3.2 CNT/AFM探针间静电力实验测量 | 第45-48页 |
3.4 本章小结 | 第48-49页 |
第四章 纳米操作中的任务及操作策略设计 | 第49-69页 |
4.1 纳米组装过程中的操作任务 | 第49-51页 |
4.2 不同任务的操作策略设计 | 第51-60页 |
4.2.1 复杂任务的简化 | 第51-52页 |
4.2.2 不同子任务的操作策略设计 | 第52-60页 |
4.3 子任务操作实验与策略优化 | 第60-67页 |
4.3.1 CNT接触实验 | 第60-61页 |
4.3.2 CNT拾取实验 | 第61-66页 |
4.3.3 CNT切割实验 | 第66-67页 |
4.4 本章小结 | 第67-69页 |
第五章 机械手运动控制及多手协同操作实验研究 | 第69-84页 |
5.1 基于SEM图像的视觉反馈控制系统 | 第69-71页 |
5.2 基于SEM图像的SmarAct操作器运动测试 | 第71-78页 |
5.2.1 X轴线性度测试 | 第72-73页 |
5.2.2 Y轴线性度测试 | 第73-74页 |
5.2.3 基于图像清晰度的Z轴定位测试 | 第74-75页 |
5.2.4 偏移量大小测试 | 第75-78页 |
5.3 多机械手协同操作的实验验证 | 第78-82页 |
5.3.1 双手协同测试碳纳米管电学性能 | 第78-81页 |
5.3.2 四手协同操作实验及实验分析 | 第81-82页 |
5.4 本章小结 | 第82-84页 |
第六章 总结与展望 | 第84-87页 |
6.1 本文总结 | 第84-85页 |
6.2 研究展望 | 第85-87页 |
参考文献 | 第87-93页 |
攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第93-95页 |
致谢 | 第95-96页 |