| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 共焦显微系统国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 激光差动共焦成像理论基础 | 第17-23页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 激光共焦显微成像原理 | 第17-20页 |
| 2.2.1 傅里叶光学基础 | 第17-18页 |
| 2.2.2 激光共焦显微原理 | 第18-20页 |
| 2.3 激光差动共焦原理 | 第20-22页 |
| 2.4 本章小节 | 第22-23页 |
| 第3章 基于激光差动共焦传感技术的传感特性分析 | 第23-30页 |
| 3.1 引言 | 第23页 |
| 3.2 差动共焦传感器参数分析 | 第23-27页 |
| 3.2.1 放大率 | 第23-24页 |
| 3.2.2 横向分辨率 | 第24-25页 |
| 3.2.3 轴向分辨率 | 第25-26页 |
| 3.2.4 共模噪声抑制特性 | 第26-27页 |
| 3.3 差动共焦传感曲线 | 第27-28页 |
| 3.4 传感曲线拟合原理 | 第28-29页 |
| 3.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 激光差动共焦传感器与三维扫描系统设计 | 第30-39页 |
| 4.1 引言 | 第30页 |
| 4.2 光学系统设计与选型 | 第30-35页 |
| 4.2.1 激光差动共焦显微光路 | 第30-34页 |
| 4.2.2 LED观察光路 | 第34-35页 |
| 4.3 三维扫描系统设计 | 第35-38页 |
| 4.3.1 目标扫描方式 | 第35-36页 |
| 4.3.2 二维平移台和物镜驱动器 | 第36-38页 |
| 4.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第5章 实验 | 第39-48页 |
| 5.1 实验装置 | 第39-40页 |
| 5.2 实验分析 | 第40-47页 |
| 5.2.1 激光差动共焦传传感器传感曲线拟合 | 第40-41页 |
| 5.2.2 激光差动共焦传传感器信号输出稳定性测试 | 第41页 |
| 5.2.3 系统轴向强度响应曲线 | 第41-42页 |
| 5.2.4 系统横向强度响应曲线 | 第42-45页 |
| 5.2.5 激光差动共焦传感器空间分辨率分析 | 第45-46页 |
| 5.2.6 激光差动共焦噪声抑制实验 | 第46-47页 |
| 5.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-54页 |
| 致谢 | 第54页 |