单晶硅纳米切削机理与微结构演化的内在关联性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究的目的及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 单晶硅纳米切削机理的研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3 单晶硅在纳米切削中的微结构演化研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4 目前研究的不足 | 第16-17页 |
| 1.5 论文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 基于分子动力学的仿真模型构建 | 第18-28页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 分子动力学仿真方法概述 | 第18-21页 |
| 2.2.1 分子动力学理论基础 | 第18-19页 |
| 2.2.2 运动方程 | 第19-20页 |
| 2.2.3 系综与边界条件 | 第20-21页 |
| 2.3 单晶硅纳米切削模型的构建 | 第21-26页 |
| 2.3.1 纳米切削过程分析 | 第21-23页 |
| 2.3.2 分子动力学切削模型 | 第23页 |
| 2.3.3 势函数的选择 | 第23-25页 |
| 2.3.4 计算方程求解算法与流程 | 第25-26页 |
| 2.4 计算结果可视化方法 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 塑性去除机理与微结构演化的关联性分析 | 第28-53页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 MD模拟参数设定 | 第28-29页 |
| 3.3 单晶硅塑性去除过程分析 | 第29-36页 |
| 3.3.1 切屑形成过程 | 第29页 |
| 3.3.2 原子迁移轨迹分析 | 第29-33页 |
| 3.3.3 切削变形分析 | 第33-36页 |
| 3.4 塑性去除机理与微结构演化关系 | 第36-42页 |
| 3.4.1 微结构变化趋势 | 第36-37页 |
| 3.4.2 相变结构的微观空间分布 | 第37-40页 |
| 3.4.3 塑性流动中的微结构演化 | 第40-42页 |
| 3.5 单晶硅塑性去除过程中的多场耦合关系 | 第42-51页 |
| 3.5.1 塑性去除过程的应力分析 | 第42-47页 |
| 3.5.2 塑性去除过程的势能分布 | 第47-49页 |
| 3.5.3 塑性去除过程的自由体积分析 | 第49-51页 |
| 3.6 本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 脆性去除机理与微结构演化的关联性分析 | 第53-87页 |
| 4.1 引言 | 第53-54页 |
| 4.2 脆性去除过程分析 | 第54-66页 |
| 4.2.1 脆性去除过程中的变形特点 | 第54-57页 |
| 4.2.2 脆性去除过程的微结构分析 | 第57-66页 |
| 4.3 刃口钝圆半径对去除过程的影响 | 第66-68页 |
| 4.4 晶向对脆性去除过程的影响 | 第68-75页 |
| 4.5 脆性去除过程中的材料缺陷 | 第75-82页 |
| 4.5.1 位错密度分析 | 第76-78页 |
| 4.5.2 位错组态分析 | 第78-82页 |
| 4.6 脆性去除过程的势能分布 | 第82-84页 |
| 4.7 脆性去除过程的应力分析 | 第84-86页 |
| 4.8 本章小结 | 第86-87页 |
| 结论 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-96页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 作者简介 | 第98页 |
