| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 硫系相变薄膜的制备方法 | 第11-14页 |
| 1.3 硫系相变薄膜的结构 | 第14-17页 |
| 1.4 硫系相变薄膜的电学性质 | 第17-20页 |
| 1.5 硫系相变薄膜的光学性质 | 第20-26页 |
| 1.6 本文选题依据及研究内容 | 第26-29页 |
| 第二章 氮和银掺杂锗锑碲薄膜的磁控溅射制备及性能表征 | 第29-35页 |
| 2.1 氮和银掺杂锗锑碲薄膜的制备方法及原理 | 第29-31页 |
| 2.2 氮和银掺杂锗锑碲薄膜的性能表征 | 第31-33页 |
| 2.2.1 薄膜成分和结构的表征 | 第31页 |
| 2.2.2 薄膜物理性质的表征 | 第31-33页 |
| 2.3 反射光谱的Tauc-Lorentz模型拟合 | 第33-35页 |
| 第三章 氮掺杂对锗锑碲薄膜非晶-面心立方-六方电阻的影响及物理机制 | 第35-47页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.2 氮掺杂对薄膜多级电阻态的影响 | 第36-43页 |
| 3.3 氮掺杂对薄膜绝缘-金属性转变的影响 | 第43-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 氮和银掺杂对锗锑碲薄膜非晶-面心立方-六方反射的影响及物理机制 | 第47-63页 |
| 4.1 引言 | 第47-48页 |
| 4.2 氮掺杂对薄膜光学性质的影响 | 第48-56页 |
| 4.3 银掺杂对薄膜光学性质的影响 | 第56-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-77页 |
| 硕士期间所获得的科研成果 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
