| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 课题的研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 金刚石膜的性能和应用 | 第12-14页 |
| 1.2.1 金刚石膜的力学性能和应用 | 第12页 |
| 1.2.2 金刚石膜的电学性能和应用 | 第12-13页 |
| 1.2.3 金刚石膜的热学性能和应用 | 第13页 |
| 1.2.4 金刚石膜的光学性能和应用 | 第13-14页 |
| 1.2.5 金刚石膜的其他性能和应用 | 第14页 |
| 1.3 金刚石膜的制备方法 | 第14-15页 |
| 1.3.1 热丝CVD | 第14-15页 |
| 1.3.2 微波等离子体CVD | 第15页 |
| 1.3.3 直流电弧等离子体喷射CVD | 第15页 |
| 1.4 硬质合金基体CVD金刚石膜的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.4.1 金刚石薄膜应用面临的问题 | 第15-16页 |
| 1.4.2 改善金刚石膜结合力的方法 | 第16-18页 |
| 1.5 研究内容及课题来源 | 第18-20页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第18-19页 |
| 1.5.2 课题来源 | 第19-20页 |
| 第二章 实验过程及分析表征 | 第20-28页 |
| 2.1 实验材料 | 第20页 |
| 2.1.1 基体材料 | 第20页 |
| 2.1.2 靶材 | 第20页 |
| 2.2 热丝化学气相沉积设备与工艺 | 第20-23页 |
| 2.2.1 热丝CVD设备 | 第20-21页 |
| 2.2.2 实验参数 | 第21-23页 |
| 2.3 PVD过渡层镀膜设备与工艺 | 第23-24页 |
| 2.4 性能的检测与表征 | 第24-28页 |
| 2.4.1 扫描电子显微镜 | 第24-25页 |
| 2.4.2 X射线衍射仪 | 第25页 |
| 2.4.3 拉曼光谱 | 第25-26页 |
| 2.4.4 洛氏C压痕法 | 第26页 |
| 2.4.5 表面粗糙度的分析表征 | 第26-27页 |
| 2.4.6 耐磨性表征 | 第27-28页 |
| 第三章 喷砂刻蚀复合预处理的研究 | 第28-44页 |
| 3.1 喷砂原理、设备及喷砂实验方案 | 第28-30页 |
| 3.1.1 喷砂原理 | 第28-29页 |
| 3.1.2 喷砂方案 | 第29-30页 |
| 3.2 金刚石薄膜的沉积 | 第30页 |
| 3.2.1 预处理 | 第30页 |
| 3.2.2 热丝CVD法制备金刚石薄膜 | 第30页 |
| 3.3 喷砂正交试验结果与分析 | 第30-37页 |
| 3.3.1 喷砂后基体表面粗糙度 | 第30-31页 |
| 3.3.2 金刚石膜的表面形貌 | 第31-32页 |
| 3.3.3 喷砂正交实验结果分析 | 第32-37页 |
| 3.4 喷砂刻蚀复合预处理与传统两步法预处理的对比 | 第37-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 不同过渡层对金刚石薄膜性能影响的研究 | 第44-64页 |
| 4.1 Cr过渡层的结构表征与基本性能分析 | 第44-46页 |
| 4.2 WC过渡层的结构表征与基本性能分析 | 第46-48页 |
| 4.3 AlCrN过渡层的结构表征与基本性能分析 | 第48-50页 |
| 4.4 Cr/WC复合过渡层的结构表征与基本性能分析 | 第50-53页 |
| 4.5 Ti/WC复合过渡层的结构表征与基本性能分析 | 第53-55页 |
| 4.6 基于不同过渡层的金刚石薄膜结构与性能分析 | 第55-63页 |
| 4.6.1 金刚石形核分析 | 第55-56页 |
| 4.6.2 金刚石薄膜生长分析 | 第56-61页 |
| 4.6.3 各过渡层上金刚石薄膜结合力对比分析 | 第61-63页 |
| 4.7 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 超细晶金刚石涂层铣刀的制备及性能研究 | 第64-84页 |
| 5.1 超细晶金刚石薄膜的制备 | 第64-65页 |
| 5.2 超细晶金刚石薄膜的表征 | 第65-69页 |
| 5.2.1 表面SEM及AFM分析 | 第65-67页 |
| 5.2.2 拉曼分析 | 第67页 |
| 5.2.3 X射线衍射分析 | 第67-68页 |
| 5.2.4 粗糙度分析 | 第68-69页 |
| 5.3 耐磨性能及磨损机理的研究 | 第69-78页 |
| 5.3.1 摩擦系数分析 | 第70-71页 |
| 5.3.2 薄膜磨损表面形貌分析 | 第71-73页 |
| 5.3.3 磨痕线扫与分析 | 第73-75页 |
| 5.3.4 不同载荷对薄膜耐磨性能的影响 | 第75-78页 |
| 5.4 超细晶金刚石涂层铣刀的制备 | 第78-80页 |
| 5.4.1 铣刀材料 | 第78-79页 |
| 5.4.2 预处理工艺 | 第79页 |
| 5.4.3 沉积工艺 | 第79页 |
| 5.4.4 金刚石涂层铣刀的表征 | 第79-80页 |
| 5.5 超细晶金刚石涂层铣刀的切削性能研究 | 第80-82页 |
| 5.5.1 铣削刀具及设备 | 第80-81页 |
| 5.5.2 铣削工件材料 | 第81页 |
| 5.5.3 铣削实验方案 | 第81页 |
| 5.5.4 铣刀切削性能检测结果分析 | 第81-82页 |
| 5.6 本章小结 | 第82-84页 |
| 全文结论及展望 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-96页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97-99页 |
| 附件 | 第99页 |
