| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 液晶显示技术简介 | 第10-11页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.4 本文中的研究内容及安排 | 第13-14页 |
| 第二章 真空贴合制品缺陷分析和新工艺模型建立 | 第14-30页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 ODF技术简介 | 第14-16页 |
| 2.3 真空贴合制品缺陷分析 | 第16-27页 |
| 2.3.1 真空贴合工艺流程和液晶屏气泡缺陷分析 | 第16-20页 |
| 2.3.2 基板贴合精度工艺参数和面板显示漏光缺陷分析 | 第20-27页 |
| 2.4 真空贴合新工艺模型建立 | 第27-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 基板吸附和剥离单元的设计及可靠性验证 | 第30-37页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 基板吸附单元的设计和可靠性验证 | 第30-33页 |
| 3.2.1 吸附单元设计 | 第30-31页 |
| 3.2.2 吸附单元测试 | 第31-33页 |
| 3.3 基板剥离单元的设计和可靠性验证 | 第33-36页 |
| 3.3.1 隔膜气囊设计 | 第33-34页 |
| 3.3.2 隔膜气囊测试 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 真空贴合设备硬件设计 | 第37-42页 |
| 4.1 引言 | 第37页 |
| 4.2 定盘结构设计 | 第37-39页 |
| 4.3 空压系统配管设计 | 第39-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 真空贴合设备软件设计 | 第42-50页 |
| 5.1 引言 | 第42页 |
| 5.2 PLC程序设计 | 第42-45页 |
| 5.2.1 三菱Q系列PLC简介 | 第42-44页 |
| 5.2.2 PLC程序设计 | 第44-45页 |
| 5.3 触摸屏人机界面设计 | 第45-49页 |
| 5.3.1 Pro-face触摸屏简介 | 第45-46页 |
| 5.3.2 SDC手动操作界面的设计 | 第46-48页 |
| 5.3.3 上定盘吸着（Recipe登录）设定界面的设计 | 第48-49页 |
| 5.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 真空贴合设备总装及性能测试 | 第50-57页 |
| 6.1 引言 | 第50页 |
| 6.2 真空贴合设备总装及调试 | 第50-54页 |
| 6.2.1 吸附和剥离单元安装 | 第50-52页 |
| 6.2.2 系统调试 | 第52-54页 |
| 6.3 真空贴合设备性能测试 | 第54-56页 |
| 6.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第七章 结论与展望 | 第57-59页 |
| 7.1 总结 | 第57页 |
| 7.2 本文的不足与展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第62-64页 |