| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 超级化学填充定义 | 第10页 |
| 1.2 实现超级化学填充的关键 | 第10-11页 |
| 1.3 超级化学填充的研究背景及其进展 | 第11-16页 |
| 1.4 本课题研究的目的及意义 | 第16-18页 |
| 第2章 实验方法 | 第18-24页 |
| 2.1 实验材料 | 第18页 |
| 2.2 实验流程 | 第18-21页 |
| 2.2.1 平面化学镀镍沉积速率的测定流程 | 第18-19页 |
| 2.2.2 微道沟超级化学镀镍填充的流程 | 第19-20页 |
| 2.2.3 实验结果与评价 | 第20-21页 |
| 2.3 镀液的电化学分析 | 第21-22页 |
| 2.3.1 实验原理 | 第21页 |
| 2.3.2 实验方法 | 第21-22页 |
| 2.4 实验试剂及设备 | 第22-24页 |
| 2.4.1 实验试剂 | 第22页 |
| 2.4.2 实验设备 | 第22-24页 |
| 第3章 添加剂对化学镀镍沉积速率和镀膜外观的影响 | 第24-38页 |
| 3.1 引言 | 第24-25页 |
| 3.2 超级化学镀镍添加剂的选择 | 第25页 |
| 3.3 单一添加加速剂对化学镀镍沉积速率及膜外观的影响 | 第25-31页 |
| 3.3.1 单一添加加速剂硫代硫酸钠 | 第26页 |
| 3.3.2 单一添加加速剂2-巯基苯并噻唑 | 第26-27页 |
| 3.3.3 单一添加加速剂硫代丙烷磺酸钠 | 第27-29页 |
| 3.3.4 单一添加加速剂硫脲 | 第29-30页 |
| 3.3.5 单一添加加速剂2-巯基苯并咪唑 | 第30-31页 |
| 3.4 单一添加抑制剂对化学镀镍沉积速率及膜外观的影响 | 第31-36页 |
| 3.4.1 单一添加抑制剂可溶性壳聚糖(CTS-5000) | 第31-32页 |
| 3.4.2 单一添加抑制剂聚乙烯亚胺(PEI) | 第32-35页 |
| 3.4.3 单一添加抑制剂聚烯丙胺盐酸盐 | 第35-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 混合添加剂对化学镀镍沉积速率和阴阳极极化曲线的影响 | 第38-48页 |
| 4.1 引言 | 第38页 |
| 4.2 混合添加剂对化学镀镍沉积速率和膜外观的影响 | 第38-43页 |
| 4.2.1 硫代硫酸钠与CTS-5000混合 | 第38-39页 |
| 4.2.2 硫代硫酸钠与聚乙烯亚胺-5000(PEI-5000)混合 | 第39-40页 |
| 4.2.3 2-MBT与可溶性壳聚糖(CTS-5000)混合 | 第40-41页 |
| 4.2.4 2-MBT与聚乙烯亚胺-5000(PEI-5000)混合 | 第41页 |
| 4.2.5 MPS与可溶性壳聚糖-5000(CTS-5000)混合 | 第41-42页 |
| 4.2.6 MPS与聚乙烯亚胺-5000(PEI-5000)混合 | 第42-43页 |
| 4.3 单一添加剂对化学镀镍阴阳极极化曲线的影响 | 第43-46页 |
| 4.3.1 单一添加可溶性壳聚糖(CTS-5000) | 第43-44页 |
| 4.3.2 单一添加聚乙烯亚胺-5000(PEI-5000) | 第44-45页 |
| 4.3.3 混合添加MPS和聚乙烯亚胺-5000(PEI-5000) | 第45-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第5章 添加剂对微道沟的超级化学填充的影响 | 第48-58页 |
| 5.1 引言 | 第48页 |
| 5.2 混合添加剂的超级化学镍填充 | 第48-50页 |
| 5.2.1 混合添加剂对微道沟超级镀镍填充过程 | 第48-50页 |
| 5.3 十二烷基磺酸钠(SDS)对化学镀镍沉积速率及形貌的影响 | 第50-52页 |
| 5.3.1 SDS对化学镀镍沉积速率的影响 | 第50-51页 |
| 5.3.2 SDS对化学镀镍层表面形貌的影响 | 第51-52页 |
| 5.4 添加了SDS的混合添加剂的超级化学镍填充 | 第52-55页 |
| 5.4.1 添加了SDS的混合添加剂对不同尺寸微道沟的填充 | 第52-54页 |
| 5.4.2 添加了SDS的混合添加剂对镍超级填充微道沟过程 | 第54-55页 |
| 5.5 本章小结 | 第55-58页 |
| 第6章 全文总结 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第70页 |
