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4T有源像素图像拖影消除的工艺模拟与器件仿真

摘要第3-4页
ABSTRACT第4-5页
第一章 绪论第8-16页
    1.1 CMOS图像传感器第8-12页
        1.1.1 概念第8-9页
        1.1.2 发展过程第9-12页
        1.1.3 研究现状与前景第12页
    1.2 CMOS图像传感器与CCD图像传感器性能比较第12-14页
    1.3 课题的设计背景与任务第14-15页
    1.4 本文结构第15-16页
第二章 四管CMOS图像传感器像素的夹断电压研究第16-33页
    2.1 CMOS图像传感器的噪声第16-20页
        2.1.1 概述第16-19页
        2.1.2 光散粒噪声与信号的关系第19-20页
    2.2 4T像素结构及工作原理第20-22页
    2.3 钳位二极管(PPD)第22-27页
        2.3.1 PPD结构的引进第22-24页
        2.3.2 PPD结构的研究第24-25页
        2.3.3 夹断电压(Pinch-off voltage)第25-27页
    2.4 测试原理和方法第27-29页
    2.5 测试系统及结果第29-32页
    2.6 本章小结第32-33页
第三章 4T有源像素图像拖影的理论分析与模型研究第33-40页
    3.1 图像拖影机制第33-37页
        3.1.1 概念第33-34页
        3.1.2 CCD图像传感器中的图像拖影第34-35页
        3.1.3 CMOS图像传感器中的图像拖影第35-37页
    3.2 CMOS-4T有源像素图像拖影的理论模型第37-39页
    3.3 本章小结第39-40页
第四章 CMOS图像传感器中4T像素图像拖影仿真优化结果第40-66页
    4.1 工艺及器件仿真工具ISE-TCAD第40-55页
        4.1.1 工艺仿真工具DIOS第42-45页
        4.1.2 器件描述工具MDRAW第45-48页
        4.1.3 器件仿真工具DESSIS第48-55页
    4.2 图像拖影的仿真结果与分析第55-64页
        4.2.1 传输管MTG沟道阈值电压掺杂优化第56-58页
        4.2.2 钳位光电二极管PPD n型区掺杂优化第58-61页
        4.2.3 传输管MTG工作电压优化第61-64页
    4.3 优化结果第64页
    4.4 本章小结第64-66页
第五章 总结与展望第66-68页
    5.1 PPD夹断电压测试总结第66页
    5.2 图像拖影仿真与优化总结第66页
    5.3 未来的工作第66-67页
    5.4 全文总结第67-68页
参考文献第68-71页
发表论文和参加科研情况说明第71-72页
致谢第72页

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