| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 声表面波技术概述 | 第8页 |
| 1.2 声表面波器件概述 | 第8-9页 |
| 1.3 声表面波传感器概述 | 第9-11页 |
| 1.4 课题的提出 | 第11-12页 |
| 1.5 本文的主要内容 | 第12-14页 |
| 第二章 声表面波及声表面波传感器 | 第14-28页 |
| 2.1 声表面波 | 第14-15页 |
| 2.2 声表面波传感器的基本原理 | 第15-16页 |
| 2.3 声表面波传感器的组成结构 | 第16-23页 |
| 2.3.1 压电基片 | 第16-17页 |
| 2.3.2 叉指换能器 | 第17-23页 |
| 2.3.3 反射栅 | 第23页 |
| 2.4 声表面波传感器的分类 | 第23-25页 |
| 2.4.1 延迟线型声表面波传感器 | 第24页 |
| 2.4.2 谐振型声表面波传感器 | 第24-25页 |
| 2.5 声表面波传感器的应用 | 第25-27页 |
| 2.5.1 声表面波质量传感器 | 第26页 |
| 2.5.2 声表面波温度传感器 | 第26-27页 |
| 2.5.3 声表面波气体传感器 | 第27页 |
| 2.5.4 声表面波湿度传感器 | 第27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 基于耦合模理论的声表面波器件的设计与分析 | 第28-36页 |
| 3.1 耦合模理论 | 第28-29页 |
| 3.2 器件的结构设计 | 第29-34页 |
| 3.2.1 多条耦合器 | 第32页 |
| 3.2.2 小波函数加权的叉指换能器 | 第32-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章 声表面波传感器的测试 | 第36-45页 |
| 4.1 器件的测试 | 第36-37页 |
| 4.2 声表面波器件理论与测量参数的分析软件设计 | 第37-44页 |
| 4.2.1 声表面波器件理论与测量参数分析软件开发背景及特点 | 第37-39页 |
| 4.2.2 分析声表面波器件理论与测量参数 | 第39-44页 |
| 4.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 基于声表面波传感器的振荡器应用 | 第45-52页 |
| 5.1 传感器系统的电路设计 | 第45-49页 |
| 5.1.1 振荡电路的设计 | 第45-47页 |
| 5.1.2 混频电路的设计 | 第47-48页 |
| 5.1.3 检测电路的设计 | 第48-49页 |
| 5.2 PCB 板的制作 | 第49-50页 |
| 5.3 电路的测试分析 | 第50-51页 |
| 5.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第六章 总结与展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |