超精密加工表面的白光扫描干涉测量系统研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题的研究目的和意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外超精密加工表面测量方法的研究 | 第9-18页 |
| 1.2.1 接触式测量法 | 第10-11页 |
| 1.2.2 光学非接触式测量法 | 第11-15页 |
| 1.2.3 扫描显微测量法 | 第15-17页 |
| 1.2.4 多传感器融合测量法 | 第17-18页 |
| 1.3 课题的来源和研究现状 | 第18页 |
| 1.4 本文的主要研究内容及各章安排 | 第18-20页 |
| 第二章 白光干涉信号峰值提取算法的研究 | 第20-40页 |
| 2.1 白光干涉特性 | 第20-22页 |
| 2.2 白光干涉原理 | 第22-23页 |
| 2.3 白光干涉信号峰值提取算法 | 第23-36页 |
| 2.3.1 重心法 | 第24-25页 |
| 2.3.2 包络曲线求解算法 | 第25-29页 |
| 2.3.3 空间频域法 | 第29-31页 |
| 2.3.4 白光相移法 | 第31-36页 |
| 2.4 算法分析比较 | 第36-37页 |
| 2.5 改进的白光干涉信号峰值提取算法 | 第37-39页 |
| 2.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 白光扫描干涉测量系统的设计 | 第40-48页 |
| 3.1 白光干涉扫描方式 | 第40-41页 |
| 3.1.1 垂直扫描方式 | 第40-41页 |
| 3.1.2 水平扫描方式 | 第41页 |
| 3.2 干涉显微镜 | 第41-43页 |
| 3.3 微位移器 | 第43-45页 |
| 3.4 光学成像系统 | 第45-46页 |
| 3.5 白光光源 | 第46-47页 |
| 3.6 图像采集装置 CCD | 第47页 |
| 3.7 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 白光扫描干涉测量系统分析 | 第48-57页 |
| 4.1 测量系统整体结构 | 第48-49页 |
| 4.2 干涉系统的分辨率 | 第49-50页 |
| 4.2.1 横向分辨率 | 第49页 |
| 4.2.2 垂直分辨率 | 第49-50页 |
| 4.3 系统测量范围 | 第50-51页 |
| 4.3.1 横向测量范围 | 第50-51页 |
| 4.3.2 垂直测量范围 | 第51页 |
| 4.4 系统软件设计 | 第51-53页 |
| 4.5 系统重复性测量精度分析 | 第53-56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 表面形貌测量实验与测量误差分析 | 第57-66页 |
| 5.1 表面形貌测量实验 | 第57-63页 |
| 5.1.1 表面形貌的评定 | 第58页 |
| 5.1.2 量块测量实验 | 第58-60页 |
| 5.1.3 双曲面测量实验 | 第60-63页 |
| 5.2 白光扫描干涉测量系统误差分析 | 第63-65页 |
| 5.2.1 PZT 微位移器移位误差 | 第63-64页 |
| 5.2.2 CCD 响应误差 | 第64页 |
| 5.2.3 随机误差 | 第64-65页 |
| 5.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-67页 |
| 6.1 总结 | 第66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
