整形飞秒激光精密微加工技术研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 飞秒激光烧蚀 | 第12-16页 |
| 1.1.1 飞秒激光烧蚀物理机制 | 第12-13页 |
| 1.1.2 飞秒激光烧蚀理论研究基础 | 第13-16页 |
| 1.2 飞秒激光微加工 | 第16-20页 |
| 1.2.1 飞秒激光微加工优势 | 第16-18页 |
| 1.2.2 飞秒激光微加工研究进展 | 第18-20页 |
| 1.3 飞秒激光脉冲整形技术 | 第20-28页 |
| 1.3.1 飞秒激光脉冲整形 | 第20-25页 |
| 1.3.2 飞秒激光整形脉冲的表征方法 | 第25-28页 |
| 1.3.3 飞秒激光脉冲整形技术的应用现状 | 第28页 |
| 1.4 本论文主要工作 | 第28-30页 |
| 第2章 飞秒激光双脉冲对金属材料微孔加工 | 第30-44页 |
| 2.1 实验方法和技术 | 第31-32页 |
| 2.2 实验结果 | 第32-35页 |
| 2.2.1 钻孔过程透射信号的监测 | 第32-34页 |
| 2.2.2 钻孔过程中圆孔形貌的变化 | 第34-35页 |
| 2.3 讨论 | 第35-43页 |
| 2.4 小结 | 第43-44页 |
| 第3章 飞秒激光整形脉冲对铜箔的微孔加工 | 第44-64页 |
| 3.1 实验方法和技术 | 第45-50页 |
| 3.2 飞秒激光整形脉冲对铜箔的微孔加工 | 第50-63页 |
| 3.2.1 激光脉冲形状对铜箔微孔加工的影响 | 第50-53页 |
| 3.2.2 激光重复频率对铜箔微孔加工的影响 | 第53-55页 |
| 3.2.3 激光偏振对铜箔微孔加工的影响 | 第55-56页 |
| 3.2.4 激光能量对铜箔微孔加工的影响 | 第56-59页 |
| 3.2.5 激光焦点位置对铜箔微孔加工的影响 | 第59-63页 |
| 3.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 飞秒激光整形脉冲对聚合物薄膜的微孔加工 | 第64-89页 |
| 4.1 实验方法和技术 | 第64-66页 |
| 4.2 脉冲个数对聚合物薄膜微孔加工的影响 | 第66-68页 |
| 4.3 背景气压对聚合物薄膜微孔加工的影响 | 第68-75页 |
| 4.3.1 背景气压对钻孔直径的影响 | 第68-73页 |
| 4.3.2 背景气压对钻孔效率的影响 | 第73-75页 |
| 4.4 整形脉冲对聚合物薄膜微孔加工的影响 | 第75-84页 |
| 4.4.1 整形激光对钻孔直径的影响 | 第75-80页 |
| 4.4.2 整形激光对钻孔效率的影响 | 第80-84页 |
| 4.5 激光波长对聚合物薄膜微孔加工的影响 | 第84-87页 |
| 4.6 小结 | 第87-89页 |
| 第5章 整形脉冲对聚合物微球的微孔加工 | 第89-104页 |
| 5.1 实验方法和技术 | 第89-91页 |
| 5.2 不同整形脉冲对后孔喷溅物的影响 | 第91-96页 |
| 5.3 不同整形脉冲对GDP微球的微加工影响 | 第96-102页 |
| 5.3.1 激光焦点位置对GDP微球的微加工影响 | 第96-98页 |
| 5.3.2 不同整形脉冲对微加工影响 | 第98-102页 |
| 5.4 本章小结 | 第102-104页 |
| 第6章 总结和展望 | 第104-107页 |
| 参考文献 | 第107-120页 |
| 作者简介 | 第120-121页 |
| 攻读博士期间取得的成果 | 第121-122页 |
| 致谢 | 第122-123页 |
