硅基MEMS器件的液体润滑及纳米磁性液体磁控润滑研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| Extended Abstract | 第8-23页 |
| 变量注释表 | 第23-26页 |
| 1 绪论 | 第26-39页 |
| 1.1 课题来源 | 第26页 |
| 1.2 选题背景及研究意义 | 第26-28页 |
| 1.3 研究现状 | 第28-37页 |
| 1.4 论文研究的主要内容 | 第37-38页 |
| 1.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 2 MEMS微观摩擦磨损试验装置的设计 | 第39-66页 |
| 2.1 试验装置基本设计要求 | 第39页 |
| 2.2 试验台的测量原理 | 第39-41页 |
| 2.3 旋转摩擦盘与上试件设计 | 第41-42页 |
| 2.4 法向载荷与摩擦力测量装置设计 | 第42-57页 |
| 2.5 载荷的施加与测量 | 第57-58页 |
| 2.6 旋转角度的测量 | 第58-60页 |
| 2.7 上试件安装自适应结构设计 | 第60-61页 |
| 2.8 润滑系统设计 | 第61-62页 |
| 2.9 电机的选择 | 第62-63页 |
| 2.10 其他外围设备 | 第63页 |
| 2.11 上位机控制界面 | 第63-64页 |
| 2.12 测试装置的装配图 | 第64-65页 |
| 2.13 本章小结 | 第65-66页 |
| 3 MEMS微观摩擦磨损试验台性能测试 | 第66-76页 |
| 3.1 实验步骤 | 第66-67页 |
| 3.2 试验台动态性能测试 | 第67-71页 |
| 3.3 初步测量 | 第71-75页 |
| 3.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 4 硅基MEMS器件液体润滑性能的研究 | 第76-112页 |
| 4.1 Stribeck曲线 | 第76-79页 |
| 4.2 载荷对微观表面润滑的影响 | 第79-90页 |
| 4.3 润滑液粘度对润滑性能的影响 | 第90-97页 |
| 4.4 表面纹理对润滑性能的影响 | 第97-106页 |
| 4.5 磨损情况分析 | 第106-110页 |
| 4.6 本章小结 | 第110-112页 |
| 5 纳米磁性液体磁控润滑研究 | 第112-130页 |
| 5.1 磁性液体的简介 | 第112-113页 |
| 5.2 纳米磁性液体粘磁效应 | 第113-119页 |
| 5.3 纳米磁性液润滑性能测试 | 第119-127页 |
| 5.4 改变磁场对磁性液体润滑摩擦系数的影响 | 第127-129页 |
| 5.5 本章小结 | 第129-130页 |
| 6 总结与展望 | 第130-133页 |
| 6.1 主要结论 | 第130-131页 |
| 6.2 本文主要创新点 | 第131-132页 |
| 6.3 展望 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-144页 |
| 作者简介 | 第144-148页 |
| 学位论文数据集 | 第148页 |
