| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 符号表 | 第18-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-38页 |
| 1.1 课题的研究背景和来源 | 第20-23页 |
| 1.1.1 课题的研究背景 | 第20-23页 |
| 1.1.2 课题来源 | 第23页 |
| 1.2 课题的研究现状和发展趋势 | 第23-35页 |
| 1.2.1 电热致动的研究现状 | 第23-26页 |
| 1.2.2 微传动机构的研究现状 | 第26-32页 |
| 1.2.3 微机构疲劳失效的研究现状 | 第32-35页 |
| 1.3 课题的研究目的和意义 | 第35页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第35-38页 |
| 1.4.1 研究对象 | 第35页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第35-38页 |
| 第二章 电热致动原理与微位移机构的设计 | 第38-59页 |
| 2.1 电热致动原理 | 第38-46页 |
| 2.1.1 电-热分析模型 | 第38-42页 |
| 2.1.2 力学模型与位移计算 | 第42-46页 |
| 2.2 微位移机构设计中需考虑的问题 | 第46-49页 |
| 2.2.1 设计方法和流程 | 第46-47页 |
| 2.2.2 注意事项 | 第47-48页 |
| 2.2.3 材料选用 | 第48-49页 |
| 2.3 电热驱动微位移机构的设计 | 第49-55页 |
| 2.3.1 电热驱动摩擦式微直线位移机构 | 第50-52页 |
| 2.3.2 电热驱动啮合式微直线位移机构 | 第52-53页 |
| 2.3.3 电热驱动推拉式微齿轮机构 | 第53-55页 |
| 2.4 电热驱动微位移机构的制造 | 第55-58页 |
| 2.4.1 微位移机构常用加工方法 | 第55-57页 |
| 2.4.2 基于PolyMUMPs的电热微直线位移机构加工工艺 | 第57-58页 |
| 2.5 小结 | 第58-59页 |
| 第三章 电热驱动摩擦式微直线位移机构的试验研究 | 第59-71页 |
| 3.1 测试平台和位移提取方法 | 第59-61页 |
| 3.1.1 测试平台所用仪器和工作原理 | 第59-60页 |
| 3.1.2 位移提取方法 | 第60-61页 |
| 3.2 电热驱动摩擦式微直线位移机构性能测试 | 第61-67页 |
| 3.2.1 ∏型约束摩擦式微直线位移机构性能测试 | 第63-65页 |
| 3.2.2 T型约束摩擦式微直线位移机构性能测试 | 第65-67页 |
| 3.3 频率与滑杆的运动速度和位移增量的关系 | 第67-69页 |
| 3.3.1 速度与频率的关系 | 第67-68页 |
| 3.3.2 位移增量 | 第68-69页 |
| 3.4 摩擦式微直线位移机构的共性问题 | 第69页 |
| 3.5 小结 | 第69-71页 |
| 第四章 摩擦式微直线位移机构的运动特性研究 | 第71-100页 |
| 4.1 摩擦式微直线位移机构的运动特性分析模型 | 第71-76页 |
| 4.1.1 模型假设 | 第72-73页 |
| 4.1.2 运动平衡方程建立 | 第73-76页 |
| 4.2 模型计算结果与试验结果对比 | 第76-77页 |
| 4.3 摩擦式微直线位移机构的运动特性分析 | 第77-98页 |
| 4.3.1 驱动头竖向运动 | 第78-81页 |
| 4.3.2 驱动头和滑杆的相对运动 | 第81-82页 |
| 4.3.3 不同相对运动条件下驱动头和滑杆的运动方程 | 第82-84页 |
| 4.3.4 滑杆运动分析 | 第84-90页 |
| 4.3.5 前推或后拉时驱动头和滑杆的运动特性 | 第90-95页 |
| 4.3.6 影响滑杆运动的主要因素 | 第95-98页 |
| 4.4 小结 | 第98-100页 |
| 第五章 电热驱动啮合式微位移机构的试验研究 | 第100-106页 |
| 5.1 直接驱动啮合式微位移机构 | 第100-102页 |
| 5.2 推拉驱动啮合式微转动机构 | 第102-104页 |
| 5.3 典型多级微传动机构 | 第104-105页 |
| 5.4 小结 | 第105-106页 |
| 第六章 电热驱动微直线位移机构的失效研究 | 第106-118页 |
| 6.1 电热驱动微直线位移机构的主要失效形式 | 第106-114页 |
| 6.1.1 设计不当造成的功能性失效 | 第106-108页 |
| 6.1.2 电热致动器的热疲劳引起的失效 | 第108-114页 |
| 6.2 改善微传动机构传动性能、提高其可靠性的措施 | 第114-117页 |
| 6.2.1 微传动机构的设计建议 | 第114-116页 |
| 6.2.2 改善传动性能、提高可靠性的措施 | 第116-117页 |
| 6.3 小结 | 第117-118页 |
| 第七章 结论与展望 | 第118-122页 |
| 7.1 结论 | 第118-120页 |
| 7.2 展望 | 第120-122页 |
| 参考文献 | 第122-134页 |
| 作者在攻读博士学位期间取得的科研成果 | 第134-136页 |
| 致谢 | 第136-137页 |
