摘要 | 第5-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第10-19页 |
1.1 引言 | 第10页 |
1.2 研究背景及意义 | 第10-14页 |
1.2.1 湿度及其表示 | 第10-11页 |
1.2.2 湿度传感器概述 | 第11-13页 |
1.2.3 湿度传感器的主要特性参数 | 第13-14页 |
1.3 湿度传感器国内外研究状况 | 第14-17页 |
1.4 本论文主要研究内容 | 第17-19页 |
第二章 基本原理与实验方法 | 第19-29页 |
2.1 敏感材料 | 第19-23页 |
2.1.1 石墨烯的结构及特性 | 第19-20页 |
2.1.2 石墨烯的制备方法 | 第20-21页 |
2.1.3 氧化石墨烯(GO) | 第21-23页 |
2.2 石英晶体微天平(QCM)基本原理与传感理论 | 第23-24页 |
2.2.1 石英晶体的压电效应 | 第23页 |
2.2.2 石英晶体微天平的传感原理 | 第23-24页 |
2.3 薄膜主要表征方法 | 第24-26页 |
2.3.1 紫外-可见分光光度法(UV-Vis) | 第24-25页 |
2.3.2 傅里叶变换红外线光谱分析法(FT-IR) | 第25页 |
2.3.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第25-26页 |
2.4 QCM湿度传感器测试及特性参数 | 第26-28页 |
2.4.1 QCM湿度传感器湿敏测试系统 | 第26-27页 |
2.4.2 QCM湿度传感器主要特性参数的计算方法 | 第27-28页 |
2.5 本章小结 | 第28-29页 |
第三章 PEI/GO-QCM湿度传感器的湿敏特性研究 | 第29-47页 |
3.1 引言 | 第29页 |
3.2 PEI/GO-QCM湿度传感器的制备 | 第29-33页 |
3.2.1 实验材料及仪器 | 第29-30页 |
3.2.2 敏感材料的配制 | 第30-31页 |
3.2.3 PEI/GO-QCM湿度传感器的制备 | 第31-33页 |
3.3 PEI/GO湿敏薄膜的表征与分析 | 第33-35页 |
3.3.1 紫外(UV-Vis)分析 | 第33页 |
3.3.2 傅里叶变换红外光谱(FT-IR)分析 | 第33-34页 |
3.3.3 扫描电镜SEM分析 | 第34-35页 |
3.4 PEI/GO-QCM湿度传感器的湿敏特性研究 | 第35-42页 |
3.4.1 PEI在最上层与GO在最上层对湿度响应特性对比 | 第35-37页 |
3.4.2 静电层层自组装成膜层数对传感器响应特性的影响 | 第37-40页 |
3.4.3 PEI/SGO-QCM湿度传感器的湿敏特性的初步研究 | 第40-42页 |
3.5 PEI/GO-QCM湿度传感器的湿敏机理 | 第42-45页 |
3.6 本章小结 | 第45-47页 |
第四章 GO/ZnO-QCM湿度传感器的湿敏特性研究 | 第47-62页 |
4.1 引言 | 第47页 |
4.2 GO/ZnO-QCM湿度传感器的制备 | 第47-50页 |
4.2.1 实验材料及仪器 | 第47-48页 |
4.2.2 敏感材料的配制 | 第48-49页 |
4.2.3 GO/ZnO-QCM湿度传感器的制备 | 第49-50页 |
4.3 GO/ZnO湿敏薄膜的表征与分析 | 第50-52页 |
4.3.1 扫描电镜SEM分析 | 第50-51页 |
4.3.2 傅里叶变换红外光谱(FT-IR)分析 | 第51-52页 |
4.3.3 紫外(UV-Vis)分析 | 第52页 |
4.4 GO/ZnO-QCM湿度传感器的湿敏特性研究 | 第52-58页 |
4.4.1 GO/ZnO分层薄膜的湿敏特性分析 | 第52-55页 |
4.4.2 分层薄膜结构对传感器性能的影响 | 第55-56页 |
4.4.3 SGO/ZnO-QCM湿度传感器的湿敏特性的初步研究 | 第56-58页 |
4.5 GO/ZnO-QCM湿度传感器的湿敏机理 | 第58-61页 |
4.6 本章小结 | 第61-62页 |
第五章 结论与展望 | 第62-65页 |
5.1 结论 | 第62-63页 |
5.2 展望 | 第63-65页 |
致谢 | 第65-66页 |
参考文献 | 第66-70页 |
攻读硕士学位期间的研究成果 | 第70-71页 |