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新型PMN-PT透明电光陶瓷及其薄膜研究

中文摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-20页
    1.1 引言第9-11页
    1.2 透明电光陶瓷的研究进展及应用第11-18页
        1.2.1 透明电光陶瓷的研究进展第11-13页
        1.2.2 电光薄膜制备方法研究进展第13-15页
        1.2.3 透明电光陶瓷的应用第15-18页
    1.3 本工作问题的提出和研究方案第18-20页
第2章 陶瓷烧结与薄膜制备的理论基础第20-34页
    2.1 PMN-PT的结构和相图第20-22页
    2.2 PMN-PT电光陶瓷制备技术概述第22-27页
        2.2.1 原料的选取第22页
        2.2.2 粉末制备第22-23页
        2.2.3 胚体成型第23-24页
        2.2.4 排塑第24页
        2.2.5 烧结工艺第24-26页
        2.2.6 制备过程中影响陶瓷透明的因素第26-27页
    2.3 脉冲激光作用于固体靶材产生等离子体的理论模型第27-31页
    2.4 脉冲激光沉积薄膜形成过程与生长第31-34页
第3章 陶瓷烧结实验研究第34-41页
    3.1 PMN-PT陶瓷烧结实验第34-35页
    3.2 实验结果分析第35-40页
    3.3 结论第40-41页
第4章 薄膜制备及其表征第41-58页
    4.1 薄膜沉积的实验设备和装置第41-43页
        4.1.1 激光器第41页
        4.1.2 薄膜沉积系统第41-43页
        4.1.3 磁控溅射沉积系统第43页
    4.2 激光沉积PMN-PT实验第43-46页
        4.2.1 PLD沉积工艺参数的确定第43-45页
        4.2.2 PLD沉积薄膜步骤第45-46页
    4.3 脉冲激光沉积PMN-PT薄膜的XRD分析第46-49页
    4.4 脉冲激光沉积PMN-PT薄膜的光学性能分析第49-51页
    4.5 脉冲激光沉积PMN-PT薄膜的表面形貌分析第51-54页
    4.6 磁控溅射沉积PMN-PT薄膜研究第54-57页
    4.7 结论第57-58页
第5章 总结和展望第58-59页
参考文献第59-64页
致谢第64-65页
附录: 攻读硕士期间发表的论文第65页

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