| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 气体传感器 | 第11-17页 |
| 1.2.1 概述 | 第11页 |
| 1.2.2 气敏材料分类 | 第11-12页 |
| 1.2.3 半导体氧化物气敏类型及敏感机理 | 第12-13页 |
| 1.2.4 半导体气体传感器性能指标 | 第13-15页 |
| 1.2.5 半导体气敏元件制作及工作原理 | 第15-17页 |
| 1.3 金属氧化物半导体氧化锌 | 第17-23页 |
| 1.3.1 氧化锌概述 | 第17页 |
| 1.3.2 氧化锌制备方法 | 第17-21页 |
| 1.3.3 氧化锌材料应用 | 第21-23页 |
| 1.4 论文选题目的和意义 | 第23-24页 |
| 1.5 本论文主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 实验及表征方法 | 第25-27页 |
| 2.1 实验试剂 | 第25页 |
| 2.2 实验仪器 | 第25-26页 |
| 2.3 表征方法 | 第26-27页 |
| 2.3.1 X射线粉末衍射仪(XRD) | 第26页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜-能谱仪(SEM-EDS) | 第26页 |
| 2.3.3 透射电子显微镜(TEM) | 第26页 |
| 2.3.4 NMDOG多功能精密传感器分析测试仪 | 第26-27页 |
| 第3章 空心球形氧化锌的合成与气敏性能研究 | 第27-45页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 实验部分 | 第27页 |
| 3.2.1 空心球形氧化锌的制备 | 第27页 |
| 3.2.2 考察实验条件对产物形貌的影响 | 第27页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第27-44页 |
| 3.3.1 XRD分析 | 第27-31页 |
| 3.3.2 SEM分析 | 第31-37页 |
| 3.3.3 空心球形氧化锌的形成机理 | 第37-38页 |
| 3.3.4 空心球形氧化锌气敏性能测试 | 第38-43页 |
| 3.3.5 氧化锌气体传感器对乙醇气体敏感机理 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 花状氧化锌的合成与气敏性能研究 | 第45-57页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 实验部分 | 第45-46页 |
| 4.2.1 花状氧化锌的制备 | 第45页 |
| 4.2.2 考察实验条件对产物形貌的影响 | 第45-46页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第46-56页 |
| 4.3.1 XRD分析 | 第46-47页 |
| 4.3.2 SEM分析 | 第47-52页 |
| 4.3.3 花状氧化锌的形成机理 | 第52页 |
| 4.3.4 花状氧化锌气敏性能测试 | 第52-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 类纺锤形氧化锌的合成与气敏性能研究 | 第57-72页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 实验部分 | 第57页 |
| 5.2.1 类纺锤形氧化锌的制备 | 第57页 |
| 5.2.2 考察实验条件对产物形貌的影响 | 第57页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第57-70页 |
| 5.3.1 XRD分析 | 第57-61页 |
| 5.3.2 SEM分析 | 第61-65页 |
| 5.3.3 TEM分析 | 第65-66页 |
| 5.3.4 类纺锤形氧化锌的形成机理 | 第66-67页 |
| 5.3.5 类纺锤形氧化锌气敏性能测试 | 第67-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |