| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 缩略词表 | 第8-11页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第11页 |
| 1.2 FBAR简介 | 第11-19页 |
| 1.2.1 FBAR研究历史 | 第11-13页 |
| 1.2.2 FBAR工作原理 | 第13-16页 |
| 1.2.3 FBAR器件的主流结构 | 第16-19页 |
| 1.3 FBAR紫外传感器研究的意义与研究现状 | 第19-22页 |
| 1.3.1 FBAR紫外传感器研究的意义 | 第19-20页 |
| 1.3.2 FBAR紫外传感器的研究现状 | 第20-22页 |
| 1.4 论文的研究内容与章节安排 | 第22-25页 |
| 1.4.1 论文的研究内容 | 第22页 |
| 1.4.2 论文各章节内容安排 | 第22-25页 |
| 2 FBAR器件制备工艺的研究 | 第25-47页 |
| 2.1 Si基背腔刻蚀FBAR制备工艺的研究 | 第25-38页 |
| 2.1.1 FBAR器件的支撑层设计和制备 | 第25页 |
| 2.1.2 FBAR器件的电极设计和制备 | 第25-26页 |
| 2.1.3 FBAR器件的压电层设计和制备 | 第26-28页 |
| 2.1.4 FBAR衬底刻蚀工艺的研究 | 第28-31页 |
| 2.1.5 Si基背腔刻蚀FBAR的制备流程设计 | 第31-33页 |
| 2.1.6 FBAR器件在制备过程中存在的问题分析 | 第33-36页 |
| 2.1.7 Si基背腔刻蚀FBAR的性能测试 | 第36-38页 |
| 2.2 柔性衬底FBAR制备工艺的研究 | 第38-46页 |
| 2.2.1 PET基FBAR器件的工作原理 | 第38-42页 |
| 2.2.2 PET基FBAR器件的工艺研发 | 第42-46页 |
| 2.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 3 FBAR紫外传感器的研究 | 第47-67页 |
| 3.1 FBAR紫外光传感的原理设计与分析 | 第47-50页 |
| 3.2 FBAR上电极AZO薄膜的工艺研究 | 第50-56页 |
| 3.2.1 AZO薄膜的制备 | 第50-51页 |
| 3.2.2 AZO薄膜制备工艺的研究 | 第51-56页 |
| 3.3 FBAR紫外传感器的测试 | 第56-65页 |
| 3.3.1 Si基FBAR器件的紫外传感测试 | 第56-60页 |
| 3.3.2 Si基FBAR紫外传感技术的改进 | 第60-65页 |
| 3.4 本章小结 | 第65-67页 |
| 4 滤波器 | 第67-81页 |
| 4.1 FBAR滤波器的工作原理 | 第67-69页 |
| 4.2 滤波器结构FBAR | 第69-76页 |
| 4.2.1 滤波器结构FBAR的性能 | 第69-73页 |
| 4.2.2 滤波器结构FBAR的紫外测试和弯曲测试 | 第73-76页 |
| 4.3 FBAR滤波器 | 第76-80页 |
| 4.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 5 总结和展望 | 第81-83页 |
| 5.1 论文的主要内容 | 第81页 |
| 5.2 论文的不足之处 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-89页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第89-90页 |