摘要 | 第3-5页 |
ABSTRACT | 第5-7页 |
第1章 绪论 | 第11-31页 |
1.1 金属箔的生产 | 第11-12页 |
1.2 电解铜箔的发展历史 | 第12-14页 |
1.3 电解铜箔的分类与用途 | 第14-17页 |
1.3.1 电解铜箔的分类[3] | 第14-15页 |
1.3.2 电解铜箔的用途 | 第15-16页 |
1.3.3 电解铜箔发展趋势 | 第16-17页 |
1.4 铜箔电沉积原理及生产工艺 | 第17-19页 |
1.4.1 铜的电沉积原理 | 第17页 |
1.4.2 电解铜箔生产工艺 | 第17-19页 |
1.5 有关电解铜箔的国内外研究现状 | 第19-27页 |
1.5.1 电沉积工艺参数对铜箔组织性能影响的研究 | 第19-20页 |
1.5.2 添加剂对铜箔组织性能影响的研究 | 第20-23页 |
1.5.3 电解铜箔组织性能的研究 | 第23-25页 |
1.5.4 新产品新工艺研究 | 第25-26页 |
1.5.5 铜箔缺陷控制研究 | 第26-27页 |
1.6 研究内容的提出 | 第27-31页 |
1.6.1 选题立项背景 | 第27-30页 |
1.6.2 研究内容的确定 | 第30页 |
1.6.3 本课题的研究意义 | 第30-31页 |
第2章 实验材料与方法 | 第31-39页 |
2.1 试剂材料 | 第31页 |
2.2 电解槽及样品制备步骤 | 第31-33页 |
2.2.1 电解槽与辅助设备 | 第31-32页 |
2.2.2 生箔样品制备 | 第32-33页 |
2.3 分析方法及测试仪器 | 第33-37页 |
2.4 实验内容及方案 | 第37-39页 |
第3章 电解铜箔组织性能研究 | 第39-76页 |
3.1 电流密度对铜箔组织性能的影响 | 第39-44页 |
3.1.1 电流密度对毛面颗粒生长的影响 | 第39-40页 |
3.1.2 电流密度对粗糙度的影响 | 第40-41页 |
3.1.3 电流密度对织构的影响 | 第41-42页 |
3.1.4 电流密度对力学性能的影响 | 第42-44页 |
3.2 铜离子浓度对铜箔组织性能的影响 | 第44-48页 |
3.2.1 铜离子浓度对毛面颗粒生长的影响 | 第44-45页 |
3.2.2 铜离子浓度对粗糙度的影响 | 第45-46页 |
3.2.3 铜离子浓度对织构的影响 | 第46页 |
3.2.4 铜离子浓度对力学性能的影响 | 第46-48页 |
3.3 电解铜箔组织性能随厚度生长的变化 | 第48-53页 |
3.3.1 铜箔毛面形貌的变化 | 第48-50页 |
3.3.2 铜箔毛面粗糙度的变化 | 第50页 |
3.3.3 铜箔织构的变化 | 第50-51页 |
3.3.4 力学性能的变化 | 第51-53页 |
3.4 添加剂对电解铜箔组织性能的影响 | 第53-72页 |
3.4.1 SP 对铜箔组织性能的影响 | 第54-57页 |
3.4.2 HEC 对铜箔组织性能的影响 | 第57-61页 |
3.4.3 PEG 对铜箔组织性能的影响 | 第61-65页 |
3.4.4 明胶对铜箔组织性能的影响 | 第65-69页 |
3.4.5 硫酸铈盐对铜箔组织性能的影响 | 第69-72页 |
3.5 本章小结 | 第72-76页 |
第4章 电解铜箔翘曲产生机理研究 | 第76-103页 |
4.1 电解铜箔翘曲的定量表述 | 第76-78页 |
4.2 添加剂对铜箔翘曲的影响 | 第78-80页 |
4.3 铅阳极对电解铜箔的影响 | 第80-82页 |
4.4 国内产品取样测试分析 | 第82-86页 |
4.4.1 残余应力 | 第83页 |
4.4.2 织构、孪晶界与晶粒尺寸 | 第83-84页 |
4.4.3 毛面形貌 | 第84-85页 |
4.4.4 断面分析 | 第85-86页 |
4.5 铜箔翘曲原因分析 | 第86-87页 |
4.6 电解铜箔内应力(残余应力)形成机理 | 第87-101页 |
4.6.1 电解铜箔内应力分析 | 第87-92页 |
4.6.2 织构对内应力的影响 | 第92-97页 |
4.6.3 有机添加剂对铜箔应力、织构的影响 | 第97-99页 |
4.6.4 翘曲电解铜箔整体宏观残余应力分析 | 第99-101页 |
4.7 本章小结 | 第101-103页 |
第5章 中试试验及生产工艺改进 | 第103-112页 |
5.1 单因素实验综合分析 | 第103-104页 |
5.2 添加剂正交实验 | 第104-109页 |
5.2.1 正交实验设计 | 第104-105页 |
5.2.2 正交实验结果分析 | 第105-109页 |
5.3 中试试验及效果 | 第109-110页 |
5.4 生产工艺的改进及效果 | 第110-111页 |
5.5 本章小结 | 第111-112页 |
第6章 结论与展望 | 第112-115页 |
6.1 结论 | 第112-113页 |
6.2 展望 | 第113-115页 |
致谢 | 第115-116页 |
参考文献 | 第116-124页 |
攻读学位期间的研究成果 | 第124页 |