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电解铜箔组织性能及其翘曲产生机理研究

摘要第3-5页
ABSTRACT第5-7页
第1章 绪论第11-31页
    1.1 金属箔的生产第11-12页
    1.2 电解铜箔的发展历史第12-14页
    1.3 电解铜箔的分类与用途第14-17页
        1.3.1 电解铜箔的分类[3]第14-15页
        1.3.2 电解铜箔的用途第15-16页
        1.3.3 电解铜箔发展趋势第16-17页
    1.4 铜箔电沉积原理及生产工艺第17-19页
        1.4.1 铜的电沉积原理第17页
        1.4.2 电解铜箔生产工艺第17-19页
    1.5 有关电解铜箔的国内外研究现状第19-27页
        1.5.1 电沉积工艺参数对铜箔组织性能影响的研究第19-20页
        1.5.2 添加剂对铜箔组织性能影响的研究第20-23页
        1.5.3 电解铜箔组织性能的研究第23-25页
        1.5.4 新产品新工艺研究第25-26页
        1.5.5 铜箔缺陷控制研究第26-27页
    1.6 研究内容的提出第27-31页
        1.6.1 选题立项背景第27-30页
        1.6.2 研究内容的确定第30页
        1.6.3 本课题的研究意义第30-31页
第2章 实验材料与方法第31-39页
    2.1 试剂材料第31页
    2.2 电解槽及样品制备步骤第31-33页
        2.2.1 电解槽与辅助设备第31-32页
        2.2.2 生箔样品制备第32-33页
    2.3 分析方法及测试仪器第33-37页
    2.4 实验内容及方案第37-39页
第3章 电解铜箔组织性能研究第39-76页
    3.1 电流密度对铜箔组织性能的影响第39-44页
        3.1.1 电流密度对毛面颗粒生长的影响第39-40页
        3.1.2 电流密度对粗糙度的影响第40-41页
        3.1.3 电流密度对织构的影响第41-42页
        3.1.4 电流密度对力学性能的影响第42-44页
    3.2 铜离子浓度对铜箔组织性能的影响第44-48页
        3.2.1 铜离子浓度对毛面颗粒生长的影响第44-45页
        3.2.2 铜离子浓度对粗糙度的影响第45-46页
        3.2.3 铜离子浓度对织构的影响第46页
        3.2.4 铜离子浓度对力学性能的影响第46-48页
    3.3 电解铜箔组织性能随厚度生长的变化第48-53页
        3.3.1 铜箔毛面形貌的变化第48-50页
        3.3.2 铜箔毛面粗糙度的变化第50页
        3.3.3 铜箔织构的变化第50-51页
        3.3.4 力学性能的变化第51-53页
    3.4 添加剂对电解铜箔组织性能的影响第53-72页
        3.4.1 SP 对铜箔组织性能的影响第54-57页
        3.4.2 HEC 对铜箔组织性能的影响第57-61页
        3.4.3 PEG 对铜箔组织性能的影响第61-65页
        3.4.4 明胶对铜箔组织性能的影响第65-69页
        3.4.5 硫酸铈盐对铜箔组织性能的影响第69-72页
    3.5 本章小结第72-76页
第4章 电解铜箔翘曲产生机理研究第76-103页
    4.1 电解铜箔翘曲的定量表述第76-78页
    4.2 添加剂对铜箔翘曲的影响第78-80页
    4.3 铅阳极对电解铜箔的影响第80-82页
    4.4 国内产品取样测试分析第82-86页
        4.4.1 残余应力第83页
        4.4.2 织构、孪晶界与晶粒尺寸第83-84页
        4.4.3 毛面形貌第84-85页
        4.4.4 断面分析第85-86页
    4.5 铜箔翘曲原因分析第86-87页
    4.6 电解铜箔内应力(残余应力)形成机理第87-101页
        4.6.1 电解铜箔内应力分析第87-92页
        4.6.2 织构对内应力的影响第92-97页
        4.6.3 有机添加剂对铜箔应力、织构的影响第97-99页
        4.6.4 翘曲电解铜箔整体宏观残余应力分析第99-101页
    4.7 本章小结第101-103页
第5章 中试试验及生产工艺改进第103-112页
    5.1 单因素实验综合分析第103-104页
    5.2 添加剂正交实验第104-109页
        5.2.1 正交实验设计第104-105页
        5.2.2 正交实验结果分析第105-109页
    5.3 中试试验及效果第109-110页
    5.4 生产工艺的改进及效果第110-111页
    5.5 本章小结第111-112页
第6章 结论与展望第112-115页
    6.1 结论第112-113页
    6.2 展望第113-115页
致谢第115-116页
参考文献第116-124页
攻读学位期间的研究成果第124页

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