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光纤EFPI压力传感器长期稳定性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-17页
   ·光纤EFPI传感器发展概述第8-10页
   ·光纤EFPI传感器长期稳定性发展概述第10-15页
     ·光纤涂覆碳膜的发展概述第10-14页
     ·光纤EFPI传感器的长期稳定性发展概述第14-15页
   ·本文的研究背景和主要研究内容第15页
   ·本文的组织结构第15-17页
2 光纤EFPI传感器第17-25页
   ·光纤F-P传感器基本原理第17-19页
   ·光纤F-P传感器的解调方法第19-21页
     ·强度解调第19-20页
     ·相位解调第20-21页
   ·光纤EFPI传感器结构第21-22页
   ·光纤EFPI压力传感器高温高压下应用的关键技术问题第22-25页
3 光纤EFPI传感器涂覆碳膜的研究第25-39页
   ·化学气相沉积的原理及分类第25-26页
   ·光纤涂覆碳膜的化学气相沉积反应第26-28页
   ·光纤EFPI传感器表面LCVD涂覆碳膜第28-30页
   ·温度监测第30-31页
   ·扫描电镜观测第31-34页
   ·拉曼光谱测试第34-39页
     ·比值R与反应温度的关系第35-36页
     ·比值R与反应压强的关系第36-37页
     ·比值R与反应气体的关系第37-38页
     ·与商业用涂碳光纤拉曼光谱比较第38-39页
4 光纤EFPI传感器的长期稳定性研究第39-48页
   ·高温高压下传感器的长期稳定性考核第39-42页
   ·涂碳传感器的迟滞考核第42-43页
   ·涂碳传感器的重复性考核第43-44页
   ·光纤传感器的精确度考核第44-45页
   ·光纤EFPI压力传感器应用实例第45-48页
结论第48-49页
参考文献第49-53页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第53-54页
致谢第54-55页

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