摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
1 绪论 | 第8-17页 |
·光纤EFPI传感器发展概述 | 第8-10页 |
·光纤EFPI传感器长期稳定性发展概述 | 第10-15页 |
·光纤涂覆碳膜的发展概述 | 第10-14页 |
·光纤EFPI传感器的长期稳定性发展概述 | 第14-15页 |
·本文的研究背景和主要研究内容 | 第15页 |
·本文的组织结构 | 第15-17页 |
2 光纤EFPI传感器 | 第17-25页 |
·光纤F-P传感器基本原理 | 第17-19页 |
·光纤F-P传感器的解调方法 | 第19-21页 |
·强度解调 | 第19-20页 |
·相位解调 | 第20-21页 |
·光纤EFPI传感器结构 | 第21-22页 |
·光纤EFPI压力传感器高温高压下应用的关键技术问题 | 第22-25页 |
3 光纤EFPI传感器涂覆碳膜的研究 | 第25-39页 |
·化学气相沉积的原理及分类 | 第25-26页 |
·光纤涂覆碳膜的化学气相沉积反应 | 第26-28页 |
·光纤EFPI传感器表面LCVD涂覆碳膜 | 第28-30页 |
·温度监测 | 第30-31页 |
·扫描电镜观测 | 第31-34页 |
·拉曼光谱测试 | 第34-39页 |
·比值R与反应温度的关系 | 第35-36页 |
·比值R与反应压强的关系 | 第36-37页 |
·比值R与反应气体的关系 | 第37-38页 |
·与商业用涂碳光纤拉曼光谱比较 | 第38-39页 |
4 光纤EFPI传感器的长期稳定性研究 | 第39-48页 |
·高温高压下传感器的长期稳定性考核 | 第39-42页 |
·涂碳传感器的迟滞考核 | 第42-43页 |
·涂碳传感器的重复性考核 | 第43-44页 |
·光纤传感器的精确度考核 | 第44-45页 |
·光纤EFPI压力传感器应用实例 | 第45-48页 |
结论 | 第48-49页 |
参考文献 | 第49-53页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第53-54页 |
致谢 | 第54-55页 |