| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 低辐射镀膜玻璃 | 第8-18页 |
| 1.2.1 低辐射玻璃的应用 | 第8-9页 |
| 1.2.2 低辐射玻璃的节能原理 | 第9-12页 |
| 1.2.3 低辐射玻璃的性能特点 | 第12-14页 |
| 1.2.4 低辐射玻璃的生产工艺 | 第14-16页 |
| 1.2.5 低辐射玻璃的膜系结构及各部分作用 | 第16页 |
| 1.2.6 低辐射玻璃的国内外发展现状与存在的问题 | 第16-18页 |
| 1.3 氮化铝钽薄膜 | 第18-19页 |
| 1.3.1 氮化钽薄膜 | 第18-19页 |
| 1.3.2 氮化铝薄膜 | 第19页 |
| 1.3.3 氮化铝和氮化钽复合膜（氮化铝钽薄膜） | 第19页 |
| 1.4 本课题的研究目的及意义 | 第19-21页 |
| 2 实验 | 第21-30页 |
| 2.1 实验材料与制备方法 | 第21-22页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第21页 |
| 2.1.2 基片的预处理 | 第21-22页 |
| 2.2 实验装置与设备 | 第22-23页 |
| 2.2.1 磁控溅射仪 | 第22-23页 |
| 2.3 试样的制备 | 第23-24页 |
| 2.3.1 制备工艺 | 第23页 |
| 2.3.2 薄膜的制备 | 第23-24页 |
| 2.4 实验方案的确定 | 第24-26页 |
| 2.4.1 TaAlN薄膜的实验方案 | 第24-25页 |
| 2.4.2 TaAlN/Ag/TaAlN薄膜的实验方案 | 第25-26页 |
| 2.5 薄膜的性能检测 | 第26-30页 |
| 2.5.1 光学性能检测 | 第26-29页 |
| 2.5.2 薄膜的化学稳定性检测 | 第29-30页 |
| 3 TaAlN薄膜的制备及性能研究 | 第30-45页 |
| 3.1 制备工艺参数对TaAlN薄膜光学性能的影响 | 第30-40页 |
| 3.1.1 Ta靶溅射功率对TaAlN薄膜光学性能的影响 | 第30-32页 |
| 3.1.2 Al靶溅射功率对TaAlN薄膜光学性能的影响 | 第32-34页 |
| 3.1.3 N_2流量对TaAlN薄膜光学性能的影响 | 第34-37页 |
| 3.1.4 溅射时间对对TaAlN薄膜光学性能的影响 | 第37-39页 |
| 3.1.5 最优制备参数下的TaAlN薄膜光学性能 | 第39-40页 |
| 3.2 TaAlN薄膜的远红外反射率 | 第40-41页 |
| 3.3 TaAlN薄膜的耐腐蚀性能研究 | 第41-42页 |
| 3.4 TaAlN薄膜的成分和结构分析 | 第42-43页 |
| 3.4.1 TaAlN的表面形貌分析 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 4 TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜的制备及性能研究 | 第45-64页 |
| 4.1 制备工艺参数对TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜光学性能的影响 | 第45-56页 |
| 4.1.1 银膜溅射功率对TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜光学性能的影响 | 第45-46页 |
| 4.1.2 银膜溅射时间对TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜光学性能的影响 | 第46-47页 |
| 4.1.3 Ta靶溅射功率对TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜可见光透过率的影响 | 第47-49页 |
| 4.1.4 Al靶溅射功率对TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜可见光透过率的影响 | 第49-51页 |
| 4.1.5 N_2流量对TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜可见光透过率的影响 | 第51-54页 |
| 4.1.6 TaAlN厚度对TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜可见光透过率的影响 | 第54-56页 |
| 4.2 TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜的化学稳定性 | 第56-60页 |
| 4.2.1 TaAlNAg/TaAlN低辐射薄膜耐H2S腐蚀性 | 第56-58页 |
| 4.2.3 TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜耐碱腐蚀性 | 第58-59页 |
| 4.2.4 最优制备参数下的TaAlN/Ag/TaAlN薄膜光学性能 | 第59-60页 |
| 4.3 TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜的远红外反射率 | 第60-61页 |
| 4.4 TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜的成分和结构分析 | 第61-63页 |
| 4.4.1 TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜的结构分析（XRD） | 第61-62页 |
| 4.4.2 TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜的表面形貌分析（SEM） | 第62-63页 |
| 4.5 本章结论 | 第63-64页 |
| 5 结论 | 第64-66页 |
| 5.1 主要结论 | 第64页 |
| 5.2 主要创新点 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
