| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 太赫兹天文学 | 第7-8页 |
| 1.2 低温超导探测器 | 第8-11页 |
| 1.2.1 相干探测器 | 第9-10页 |
| 1.2.2 非相干探测器 | 第10-11页 |
| 1.3 超导动态电感探测器 | 第11-13页 |
| 1.3.1 超导薄膜 | 第11-12页 |
| 1.3.2 库伯对和准粒子 | 第12-13页 |
| 1.3.3 MKIDs探测器的优势 | 第13页 |
| 1.4 本论文研究内容概要 | 第13-15页 |
| 第2章 MKIDs探测器工作机理 | 第15-28页 |
| 2.1 超导电动力学 | 第15-18页 |
| 2.1.1 复电导率 | 第15-16页 |
| 2.1.2 表面阻抗 | 第16-17页 |
| 2.1.3 超导谐振腔 | 第17-18页 |
| 2.2 MKIDs探测器的结构 | 第18-22页 |
| 2.2.1 薄膜传输线（CPW） | 第18-19页 |
| 2.2.2 1/4λ并联谐振电路 | 第19-20页 |
| 2.2.3 1/4λ并联谐振电路Q值计算 | 第20-22页 |
| 2.3 MKIDs探测器的特性 | 第22-25页 |
| 2.3.1 谐振响应 | 第22-23页 |
| 2.3.2 噪声等效功率（NEP） | 第23-25页 |
| 2.4 MKIDs探测器参数测量方法 | 第25-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 MKIDs探测器芯片设计与制备工艺 | 第28-39页 |
| 3.1 MKIDs探测器芯片设计 | 第28-29页 |
| 3.2 MKIDs探测器芯片制备工艺 | 第29-37页 |
| 3.2.1 曝光显影 | 第29-31页 |
| 3.2.2 真空蒸镀 | 第31-33页 |
| 3.2.3 Al超导薄膜Tc的测量 | 第33-34页 |
| 3.2.4 Al薄膜X射线衍射（XRD）实验 | 第34-37页 |
| 3.3 MKIDs探测器芯片封装 | 第37-38页 |
| 3.3.1 超声波点焊 | 第37页 |
| 3.3.2 微透镜的安装 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 MKIDs探测器性能实验研究 | 第39-53页 |
| 4.1 稀释制冷平台 | 第39-41页 |
| 4.2 低温环境下系统链路动态范围研究 | 第41-42页 |
| 4.3 64 像元Al-MKIDs探测器的测量 | 第42-49页 |
| 4.3.1 传输系数S_(21) | 第42-45页 |
| 4.3.2 谐振频率与温度相关性的实验研究 | 第45-47页 |
| 4.3.3 谐振频率与读出信号功率相关性的实验研究 | 第47页 |
| 4.3.4 外部磁场对谐振频率的影响 | 第47-48页 |
| 4.3.5 窗口外目标探测实验 | 第48-49页 |
| 4.4 复传输系数S_(21)的拟合 | 第49-50页 |
| 4.5 设计频段内Q值的统计性分布研究 | 第50-52页 |
| 4.6 Q与温度的相关性研究 | 第52页 |
| 4.7 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 结论与展望 | 第53-55页 |
| 5.1 结论 | 第53页 |
| 5.2 进一步工作的方向 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |