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太赫兹超导动态电感探测器的特性研究

摘要第2-3页
Abstract第3-4页
第1章 绪论第7-15页
    1.1 太赫兹天文学第7-8页
    1.2 低温超导探测器第8-11页
        1.2.1 相干探测器第9-10页
        1.2.2 非相干探测器第10-11页
    1.3 超导动态电感探测器第11-13页
        1.3.1 超导薄膜第11-12页
        1.3.2 库伯对和准粒子第12-13页
        1.3.3 MKIDs探测器的优势第13页
    1.4 本论文研究内容概要第13-15页
第2章 MKIDs探测器工作机理第15-28页
    2.1 超导电动力学第15-18页
        2.1.1 复电导率第15-16页
        2.1.2 表面阻抗第16-17页
        2.1.3 超导谐振腔第17-18页
    2.2 MKIDs探测器的结构第18-22页
        2.2.1 薄膜传输线(CPW)第18-19页
        2.2.2 1/4λ并联谐振电路第19-20页
        2.2.3 1/4λ并联谐振电路Q值计算第20-22页
    2.3 MKIDs探测器的特性第22-25页
        2.3.1 谐振响应第22-23页
        2.3.2 噪声等效功率(NEP)第23-25页
    2.4 MKIDs探测器参数测量方法第25-27页
    2.5 本章小结第27-28页
第3章 MKIDs探测器芯片设计与制备工艺第28-39页
    3.1 MKIDs探测器芯片设计第28-29页
    3.2 MKIDs探测器芯片制备工艺第29-37页
        3.2.1 曝光显影第29-31页
        3.2.2 真空蒸镀第31-33页
        3.2.3 Al超导薄膜Tc的测量第33-34页
        3.2.4 Al薄膜X射线衍射(XRD)实验第34-37页
    3.3 MKIDs探测器芯片封装第37-38页
        3.3.1 超声波点焊第37页
        3.3.2 微透镜的安装第37-38页
    3.4 本章小结第38-39页
第4章 MKIDs探测器性能实验研究第39-53页
    4.1 稀释制冷平台第39-41页
    4.2 低温环境下系统链路动态范围研究第41-42页
    4.3 64 像元Al-MKIDs探测器的测量第42-49页
        4.3.1 传输系数S_(21)第42-45页
        4.3.2 谐振频率与温度相关性的实验研究第45-47页
        4.3.3 谐振频率与读出信号功率相关性的实验研究第47页
        4.3.4 外部磁场对谐振频率的影响第47-48页
        4.3.5 窗口外目标探测实验第48-49页
    4.4 复传输系数S_(21)的拟合第49-50页
    4.5 设计频段内Q值的统计性分布研究第50-52页
    4.6 Q与温度的相关性研究第52页
    4.7 本章小结第52-53页
第5章 结论与展望第53-55页
    5.1 结论第53页
    5.2 进一步工作的方向第53-55页
参考文献第55-57页
攻读学位期间取得的研究成果第57-58页
致谢第58-59页

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