| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·论文提出及意义 | 第9页 |
| ·论文相关内容的研究现状 | 第9-15页 |
| ·标准光隙产生方法的研究现状 | 第9-13页 |
| ·压电陶瓷微位移机构研究现状 | 第13-14页 |
| ·研究现状分析 | 第14-15页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第15-16页 |
| 第二章 光隙法原理与微定位技术 | 第16-26页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·光隙法概述 | 第16-18页 |
| ·光隙法原理 | 第16-17页 |
| ·标准光隙 | 第17页 |
| ·影响光隙法测量准确度的因素 | 第17-18页 |
| ·微定位技术 | 第18-25页 |
| ·微位移机构 | 第18-21页 |
| ·检测装置 | 第21-23页 |
| ·控制系统 | 第23-25页 |
| ·基于压电陶瓷的可调标准光隙装置设计思路 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 基于压电陶瓷的可调标准光隙装置原理以及设计方案 | 第26-39页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·压电陶瓷原理和特性 | 第26-35页 |
| ·压电效应和电致伸缩效应 | 第27-29页 |
| ·压电陶瓷基本参数 | 第29页 |
| ·压电陶瓷微位移器 | 第29-35页 |
| ·基于压电陶瓷的可调标准光隙装置设计方案 | 第35-37页 |
| ·基于压电陶瓷的可调标准光隙装置的关键技术分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 可调标准光隙装置的硬件设计 | 第39-48页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·机械结构设计 | 第39-43页 |
| ·光源 | 第40页 |
| ·平晶和刀口尺 | 第40-41页 |
| ·压电陶瓷微动台 | 第41-43页 |
| ·微位移控制系统关键器具选型 | 第43-46页 |
| ·系统硬件电路设计 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 系统的软件开发 | 第48-57页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·系统开发环境和开发工具 | 第48页 |
| ·软件系统平台 | 第48-56页 |
| ·系统软件控制流程 | 第48-49页 |
| ·用户操作界面 | 第49-50页 |
| ·压电陶瓷微动台PID 闭环控制方法 | 第50-53页 |
| ·PID 控制器的设计 | 第53-55页 |
| ·A/D 转换器编程 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 装置误差和不确定度分析 | 第57-66页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·误差与测量不确定概述 | 第57-61页 |
| ·可调标准光隙装置误差分析 | 第61-62页 |
| ·可调标准光隙装置的测量不确定度分析 | 第62-63页 |
| ·校准规范 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 总结与展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 附件 | 第71页 |