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Cu掺杂ZnO薄膜的制备及光学性能研究

摘要第1-7页
Abstract第7-9页
引言第9-10页
第一章 ZnO 材料的概况第10-27页
 §1.1 ZnO 的晶体结构和性质第10-14页
     ·ZnO 的晶体结构第11-12页
     ·ZnO 的光学性质第12-13页
     ·ZnO 的电学性质第13-14页
     ·ZnO 的磁学性质第14页
 §1.2 ZnO 的应用第14-17页
 §1.3 研究进展第17-19页
     ·优质ZnO 薄膜的外延生长:第17-18页
     ·p 型ZnO 薄膜的研究:第18页
     ·掺杂对ZnO 薄膜的光学、电学、磁学等特性进行改性:第18-19页
 §1.4 本论文研究工作简介第19-20页
 参考文献第20-27页
第二章 ZnO 薄膜的制备及表征第27-36页
 §2.1 常用的制备方法第27-31页
     ·溅射法第27-29页
     ·分子束外延(MBE)第29页
     ·脉冲激光沉积(PLD)第29页
     ·金属有机化学气相沉积(MOCVD)第29-30页
     ·溶胶-凝胶(Sol-Gel)第30-31页
 §2.2 常用的表征方法第31-34页
     ·X 射线衍射仪(XRD)第31-32页
     ·原子力显微镜(AFM)第32-33页
     ·紫外分光光度计第33页
     ·荧光分光光度计第33-34页
 §2.3 实验室ZnO:Cu 薄膜的制备与表征第34-35页
 参考文献第35-36页
第三章 氧分压对ZnO:Cu 薄膜的结构及光学特性的影响第36-44页
 §3.1 氧分压对ZnO:Cu 薄膜结构的影响第36-39页
 §3.2 氧分压对ZnO:Cu 薄膜光学特性的影响第39-41页
 §3.3 本章 小结第41-42页
 参考文献第42-44页
第四章 衬底和氧分压对ZnO:Cu 薄膜结构及光学特性的影响第44-51页
 §4.1 衬底和氧分压对ZnO:Cu 薄膜结构的影响第44-46页
 §4.2 衬底和氧分压对ZnO:Cu 薄膜光学特性的影响第46-48页
 §4.3 本章 小结第48-50页
 参考文献第50-51页
第五章 总结与展望第51-53页
 §5.1 总结第51页
 §5.2 展望第51-53页
致谢第53-54页
附录:攻读硕士学位期间发表的论文第54页

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